[发明专利]晶体生长炉温场用氧化铝空心球砖的制备方法有效
申请号: | 201410557975.4 | 申请日: | 2014-10-20 |
公开(公告)号: | CN104387030A | 公开(公告)日: | 2015-03-04 |
发明(设计)人: | 李佼;柳祝平;黄小卫 | 申请(专利权)人: | 元亮科技有限公司 |
主分类号: | C04B35/10 | 分类号: | C04B35/10;C04B35/66 |
代理公司: | 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104 | 代理人: | 殷红梅 |
地址: | 214037 江苏省无锡*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 晶体生长 炉温 氧化铝 空心球 制备 方法 | ||
技术领域
本发明涉及晶体生长炉温场用氧化铝空心球砖的制备方法,属于晶体生长技术领域。
背景技术
泡生法生长蓝宝石的工艺,一般是先将原料氧化铝加热至熔点后熔化,然后用氧化铝单晶棒作晶种,接触到熔液表面,同时控制温度低于凝固点,使晶体不断变大;同时旋转晶体,以改善温度分布,待熔液与晶体界面的凝固速率稳定后,晶种便不再拉升,也不作旋转,仅以控制冷却速率方式来使晶体从上方逐渐往下凝固,最后凝固成一整个单晶晶碇,这是目前应用最广的蓝宝石晶体生长方法。为获得更高质量的蓝宝石晶体,公司自主开发了顶部籽晶温度梯度技术(TSTGT法),是将泡生法、提拉法(CZ)、热交换法(HEM)、温梯法(TGT)和坩埚下降法结合在一起,创造一个可调节温度梯度和温场中心的特殊高温真空晶体炉,并生产出大尺寸、高质量高温氧化物晶体的创新技术。在以上两种长晶工艺中,保温材料起着控制温度梯度分布、隔离发热体和炉体之间的温度差的作用,对蓝宝石单晶生长起着关键性的作用。
泡生法和TSTGT法生长蓝宝石的工艺方法中,其保温材料是由许多层由钨、钼、石墨等材料制成的筒状结构,镶套在一起,利用层与层之间的多层间隙,使得发热体到炉壁间的导热效果降低,从而起到保温、隔热的效果。蓝宝石单晶的生长环境会直接影响蓝宝石单晶的品质,在高温状态下,氧化铝熔体会发生微量热分解,释放出O2,这些微量的O2便会和钨钼坩埚、保温层等温场发生反应,从而形成气泡散点,使得宝石的成品率降低。
2Mo+3O2=2MoO3↑
2W+3O2=2WO3↑
另外钨钼材料的密度较高,钨的密度为19.35g/cm,而钼也有10.2g/cm,在装配、清洁其制品保温材料的装配过程中,往往由于其较大的重量而不易操作。而在高温状态下,石墨材料制品也会轻微释放出微量的C,也会与Al2O3发生一定反应。
2Al2O3+3C=Al4O4C+2CO↑
2Al2O3+C=2Al2O4C+CO↑
Al2O3+2C=Al2O+2CO↑
该反应会促进蓝宝石结晶过程中气泡的形成。一氧化碳作为一种有毒气体,对环境造成污染,另外,挥发出来但没有参与反应的C本身也会作为杂质散点,影响蓝宝石的质量。
氧化锆由于其耐高温性、耐腐蚀性、抗氧化性和低的导热系数,也往往作为保温材料使用。氧化锆有三种晶体结构形式,在温度变化时会产生结构的变化。
在转变过程中,氧化锆会产生相应的体积变化,升高温度时,单斜相会向四方相转变,体积收缩5%,而降低温度时,四方相会转变为单斜相,体积会膨胀8%。由于这种原因,使得氧化锆在多次冷却过程中因相变体积的变化而粉化,所以,氧化锆材料也并不适和用作泡生法和TSTGT法生长蓝宝石的保温材料。
发明内容
本发明的目的在于克服上述不足之处,提供一种专用于晶体生长炉温场的氧化铝空心球砖的制备方法,用该方法制备的氧化铝空心球砖与普通隔热材料相比,具有杂质少、密度低、热导率低、洁净环保、变形率低等特点。
按照本发明提供的技术方案,晶体生长炉温场用氧化铝空心球砖的制备方法,按重量份计步骤为:
(1)混料:取60-70份的氧化铝空心球、25-35份α-氧化铝微粉,5-15份黄糊精细粉,用混料机先将氧化铝空心球混合均匀,然后加入α-氧化铝微粉和黄糊精细粉,干混4-5min后采用喷淋法加入水,水和物料的比例为1:3-5,湿混8-10min;
(2)成型:根据自身炉体大小、形状、温场要求,设计隔板模具,将上述混合料称取相应的重量,加入隔板模具中,采用震动加压法成型,成型压力10-15MPa,振动频率4-10次/s,然后脱模,得到氧化铝空心球砖初品;
(3)干燥:将脱模后的氧化铝空心球砖初品经过100-150℃下烘干35-50h,去除其中的水分;
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