[发明专利]一种超声辅助制备CdS薄膜的方法无效
申请号: | 201410563951.X | 申请日: | 2014-10-22 |
公开(公告)号: | CN104372340A | 公开(公告)日: | 2015-02-25 |
发明(设计)人: | 褚君浩;孙雷;马建华;姚娘娟;江锦春 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海技术物理研究所 |
主分类号: | C23C26/00 | 分类号: | C23C26/00;H01L31/0296 |
代理公司: | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人: | 郭英 |
地址: | 200083 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 超声 辅助 制备 cds 薄膜 方法 | ||
1.一种超声辅助制备CdS薄膜的方法,其特征在于步骤如下:
A.反应溶液:
反应溶液采用CBD制备方法中通常用的反应溶液,由0.015mol/L镉盐、0.75mol/L硫脲、14mol/L浓氨水和去离子水组成,它们的体积比为0.9-1.1:0.9-1.1:1.2-1.4:6.8-7.2;
B.首先将待沉积CdS薄膜的衬底分别固定于柱形支架的各个棱面上,之后将超声振动棒与柱形支架顶部中心固定连接,待用;
C.随后将带有加热控温和磁力搅拌功能的水浴装置加热至60-95℃,再将底部放有搅拌磁子的小烧杯放入水浴装置的水浴烧杯内,将上述安装好待沉积CdS薄膜的衬底的柱形支架置于小烧杯中,柱形支架底部与搅拌磁子之间留有0.5-5cm的间隔空间;
D.按上述的反应溶液配制比例先将镉盐、浓氨水和去离子水倒入小烧杯中,打开搅拌磁子,达到水浴装置的设定温度后,加入硫脲,并使反应溶液没过柱形支架顶部,之后打开超声振动棒开始沉积薄膜;超声振动棒输出频率在20-90kHz,功率在20-200W;搅拌磁子旋转速率为100-1500rpm;
在沉积薄膜的过程中,观察反应溶液颜色变化,4-5分钟,溶液开始出现浅黄色,然后逐渐加深,溶液也由透明变为浑浊,8-10分钟后,溶液略带橙红色,此时薄膜沉积完成,取出柱形支架,从柱形支架上取下沉积好的CdS薄膜衬底,用去离子水清洗后先用氮气吹干,之后放入50-90℃的烘箱内烘5-10分钟,完成CdS薄膜的制备。
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