[发明专利]一种可见光减反射膜玻璃及制造方法

说明书

【技术领域】

本发明涉及一种镀膜玻璃，更具体地说是一种可见光减反射膜玻璃。本发明还涉及一种可见光减反射膜玻璃的制造方法。

【背景技术】

目前，国内军用光电仪器上一般采用波长1.064um激光测距机，因其激光脉冲能量较大，人眼对这一波长敏感故对操作者的眼睛安全有一定影响，易对人眼造成伤害，且1.064um波段的光在大气传输中穿透烟雾、灰尘的能力差，回波率较低，最大测程受天气能见度的影响很大。而1.54um波长的的激光对人眼的损伤阈值比1.064um波长的激光高20万倍，因此，1.54um波长的激光对人眼安全，大气传输性好，透过战场烟雾和灰尘的能力强，目标反差比大，军事保密性好，可用锗光二极管在室温下探测，不需要低温，从而适用于小型化和野外。由于其具有如此多的优势，因此用1.54um波长的激光测距机代替1.064um波长激光测距机是必然的发展趋势。

为了作战效能的需要，现代军用光电系统上，都装备了夜视仪即热像仪、光电瞄准跟踪仪、激光测机等单元。在光谱分布上，它们包括0.43-0.9um及1.54um波段。特别对机载、车载光电仪器。研究可见光减反射膜玻璃就十分必要。

【发明内容】

本发明目的是克服了现有技术的不足，提供一种对可见光和近红外光透过率高，保障人眼安全的可见光减反射膜玻璃。本发明还提供一种可见光减反射膜玻璃的制造方法。

本发明是通过以下技术方案实现的：

一种可见光减反射膜玻璃，包括有玻璃基片1，在所述的玻璃基片1的复合面上由内到外依次相邻地复合有七个膜层，其特征在于：其中第一膜层即最内层为Al₂O₃层21，第二层为ZrO₂层22，第三层为Al₂O₃层23，第四层为ZrO₂层24，第五层为Al₂O₃层25，第六层为ZrO₂层26，最外层为MgF₂层27。

如上所述的金属反射镜，其特征在于所述第一膜层的Al₂O₃层21的厚度为140～160nm。

如上所述的可见光减反射膜玻璃，其特征在于所述第二膜层的ZrO₂层22的厚度为280～320nm。

如上所述的可见光减反射膜玻璃，其特征在于所述第三膜层的Al₂O₃层23的厚度为140～160nm。

如上所述的可见光减反射膜玻璃，其特征在于所述第四层ZrO₂层24的厚度为280～320nm。

如上所述的可见光减反射膜玻璃，其特征在于所述第五层Al₂O₃层25的厚度为140～160nm。

如上所述的可见光减反射膜玻璃，其特征在于所述第六层ZrO₂层26的厚度为280～320nm。

如上所述的可见光减反射膜玻璃，其特征在于所述最外层MgF₂层27的厚度为120～140nm。

一种制造上述的可见光减反射膜玻璃的方法，其特征在于包括如下步骤：

(1)磁控溅射Al₂O₃层，用直流电源溅射铝靶，用氧气做反应气体，氩氧比为1:2；

(2)磁控溅射ZrO₂层，用直流电源溅射镉靶，用氧气做反应气体，氩氧比为1:3；

(3)磁控溅射Al₂O₃层，用直流电源溅射铝靶，用氧气做反应气体，氩氧比为1:2；

(4)磁控溅射ZrO₂层，用直流电源溅射镉靶，用氧气做反应气体，氩氧比为1:3；

(5)磁控溅射Al₂O₃层，用直流电源溅射铝靶，用氧气做反应气体，氩氧比为1:2；

(6)磁控溅射ZrO₂层，用直流电源溅射镉靶，用氧气做反应气体，氩氧比为1:3；

(7)镀制MgF₂层，采用离子蒸发法镀制MgF₂。

如上所述的方法，其特征在于步骤(7)包括如下步骤：