[发明专利]一种取向膜检测机

权利要求书

1.一种取向膜检测机，用于检测取向膜上的沟槽是否缺陷，其特征在于，所述取向膜检测机包括蒸汽供给机构及可密封的腔室；所述蒸汽供给机构用于向所述腔室中输入蒸汽；

所述腔室用于在其内部放置设有需要检测的取向膜的基板；

所述腔室的至少一部分腔壁为透明壁；

所述取向膜检测机还包括机器视觉检测机构；所述机器视觉检测机构透过腔室的透明壁对所述腔室中的基板及取向膜进行成像；

所述取向膜检测机还包括缺陷关联模块，所述缺陷关联模块用于根据取向膜上沟槽缺陷存在的位置，确定导致所述沟槽缺陷的用于对取向膜进行摩擦工艺的摩擦布上的缺陷存在的位置。

2.根据权利要求1所述的取向膜检测机，其特征在于，所述机器视觉检测机构根据所采集的图像自动检测取向膜上的沟槽是否存在缺陷，以及缺陷存在的位置。

3.根据权利要求1所述的取向膜检测机，其特征在于，所述蒸汽供给机构包括水供给模块、蒸汽供给模块、水汽混合模块及控制模块；

所述水供给模块与所述水汽混合模块连接，用于向所述水汽混合模块输入水；

所述蒸汽供给模块与所述水汽混合模块连接，所述水汽供给模块与所述腔室连接，所述蒸汽供给模块经所述水汽混合模块向所述腔室中输入蒸汽；

所述控制模块用于控制所述水供给模块、蒸汽供给模块输入到所述水汽混合模块中的水、蒸汽的比例，以及控制所述蒸汽供给模块经所述水汽混合模块输入到腔室的蒸汽的流量。

4.根据权利要求1～3中任意一项所述的取向膜检测机，其特征在于，所述腔室中设置有温度检测模块、湿度检测模块、气压检测模块中的至少一种；所述温度检测模块、湿度检测模块和气压检测模块分别用于检测所述腔室中的温度、湿度和气压。

5.根据权利要求1～3中任意一项所述的取向膜检测机，其特征在于，在进行检测时，所述腔室中的温度控制在55～65℃，含水量控制在150～160g/m³。

6.根据权利要求1所述的取向膜检测机，其特征在于，所述取向膜检测机还包括冷却机构，所述冷却机构用于在基板置于腔室前，对基板进行冷却。

7.根据权利要求1所述的取向膜检测机，其特征在于，所述腔室的透明壁的内侧表面和/或外侧表面设置有加热装置，所述加热装置用于加热所述透明壁。

8.根据权利要求2所述的取向膜检测机，其特征在于，所述机器视觉检测机构包括图像采集模块和图像处理模块；所述图像采集模块用于采集所述基板及取向膜的图像，所述图像处理模块根据所采集的图像确定所述取向膜上的沟槽是否存在缺陷，以及缺陷存在的位置。

9.根据权利要求8所述的取向膜检测机，其特征在于，所述图像采集模块每次采集的图像为所述基板及取向膜的整体图像，或者所述基板及取向膜的局部图像。

10.根据权利要求8或9所述的取向膜检测机，其特征在于，所述机器视觉检测机构还包括光源，所述光源照射所述基板及取向膜的图像采集模块所采集图像的区域。

11.根据权利要求8或9所述的取向膜检测机，其特征在于，所述图像采集模块包括电荷耦合元件摄像头、红外摄像头、超声波成像组件中的至少一个。