[发明专利]阵列测试装置和方法

权利要求书

1.一种阵列测试装置，其特征在于，包括：

探针矩阵，所述探针矩阵上设置有多个探针，所述多个探针均匀连续排列于所述探针矩阵上，所述探针具有地址矩阵信息并由电磁开关独立控制；

地址矩阵系统，用于存储所述探针的地址矩阵信息；

电压控制系统，用于根据所述探针的地址矩阵信息控制所述探针；

运算组件，用于设定探针的选定规则。

2.根据权利要求1所述的阵列测试装置，其特征在于，所述运算组件选定的探针为所有导通的探针的几何中心的那根探针。

3.根据权利要求1所述的阵列测试装置，其特征在于，所述运算组件选定的探针为所有导通的探针中的任意一根或多根探针。

4.根据权利要求1所述的阵列测试装置，其特征在于，所述运算组件具有记忆功能，用以储存每次选定的探针地址矩阵信息。

5.根据权利要求1至4中任一权利要求所述的阵列测试装置，其特征在于，所述运算组件为通过计算机软件建模。

6.根据权利要求1至5中任一权利要求所述的一种阵列测试装置的阵列测试方法，其特征在于，所述阵列测试方法包括以下步骤：

S1.根据基板测试板，在探针矩阵上划分多个探针子矩阵；

S2.选定一个所述探针子矩阵，通过所述探针的地址矩阵信息将所述探针子矩阵中的每根探针由电磁开关控制处于扎针状态；

S3.接收所有处于扎针状态中导通的探针的地址矩阵信息，并选定一根或多根所述导通的探针；

S4.解除非选定的探针的扎针状态；

S5.重复上述步骤S2～S4，直至选定所有用于测试的探针；

S6.将电压通过所有选定的探针导入，进行测试。

7.根据权利要求6所述的阵列测试方法，其特征在于，所述步骤S1中的探针子矩阵为整个探针矩阵。

8.根据权利要求6所述的阵列测试方法，其特征在于，所述步骤S3中选定的探针为所有导通的探针的几何中心的那根探针。

9.根据权利要求6述的阵列测试方法，其特征在于，所述步骤S3中选定的探针为所有导通的探针中的任意一根或多根探针。