[发明专利]真空镀膜用实时膜厚修正板及其控制方法有效
| 申请号： | 201410577335.X | 申请日： | 2014-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN104313537A | 公开（公告）日： | 2015-01-28 |
| 发明（设计）人： | 张殷;邓琪;张小飞;王静辉;吕子啸 | 申请（专利权）人： | 杰莱特（苏州）精密仪器有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 山西五维专利事务所(有限公司) 14105 | 代理人： | 雷立康 |
| 地址： | 215600 江苏省苏州市张家*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 实时 修正 及其 控制 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空镀膜用实时膜厚修正板，它包括膜厚修正板支架，其特征在于：它还包括旋转膜厚修正板、旋转装置和固定膜厚修正板，固定膜厚修正板设在膜厚修正板支架的一边，在固定膜厚修正板上设有能使旋转膜厚修正板旋转的回转导轨，旋转膜厚修正板设在固定膜厚修正板的上面并使设置在旋转膜厚修正板上的导柱位于回转导轨中，旋转装置设在固定膜厚修正板上并位于旋转膜厚修正板的一侧。
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜用实时膜厚修正板，其特征在于：所述旋转装置由齿轮、齿条和动力机构组成，齿轮设在固定膜厚修正板上并与动力机构的输出轴连接，齿条设在旋转膜厚修正板的一侧并与齿轮相啮合。
3.一种权利要求1所述的真空镀膜用实时膜厚修正板的控制方法，其特征在于：主监控点设在旋转膜厚修正板的旋转中心上，辅助监控点设在主监控点的一侧或两侧；实时比较主监控点与辅助监控点的镀膜速率，调节旋转膜厚修正板的角度，使其遮挡镀膜速率过快的部分，并同时减少镀膜速率偏慢的部分，在保证主监控点镀膜速率稳定的条件下实现快速实时膜厚分布的修正。
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