[发明专利]真空镀膜用实时膜厚修正板及其控制方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种真空镀膜用实时膜厚修正板及其控制方法，它属于光学真空镀膜实时膜厚修正的设备和控制方法。

背景技术

在真空镀膜中，蒸镀源(靶材)正上方的蒸发物浓度最高，导致镀膜基板上的薄膜厚度从中间到边缘出现不一致的现象。目前厚度均匀的薄膜获得，通常是通过基板旋转架和膜厚修正板来解决。在镀膜基板架与蒸镀源之间设置一修正板，通过修正板来遮挡蒸镀源正上方的蒸发物，以减少蒸镀源正上方基板玻璃膜层的厚度。但由于现在的膜厚修正板通常都是固定装在基板旋转架的下方，无法改变膜厚修正板的转角，因此，存在的浪费镀膜材料大、产品质量差的缺陷。

另外，由于现在的膜厚修正板通常都是固定装在基板旋转架上，无法对其进行实时控制，因此，存在的镀膜不均匀和产品质量差的缺陷。

发明内容

本发明的目的是解决现有的膜厚修正板存在的镀膜材料浪费大、镀膜不均匀和产品质量差的技术问题，提供一种镀膜耗材小、镀膜均匀、产品质量好和结构简单的真空镀膜用实时膜厚修正板及其控制方法。

为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：

真空镀膜用实时膜厚修正板，它包括膜厚修正板支架，其中：它还包括旋转膜厚修正板、旋转装置和固定膜厚修正板，固定膜厚修正板设在膜厚修正板支架的一边，在固定膜厚修正板上设有能使旋转膜厚修正板旋转的回转导轨，旋转膜厚修正板设在固定膜厚修正板的上面并使设置在旋转膜厚修正板上的导柱位于回转导轨中，旋转装置设在固定膜厚修正板上并位于旋转膜厚修正板的一侧。

所述旋转装置由齿轮、齿条和动力机构组成，齿轮设在固定膜厚修正板上并与动力机构的输出轴连接，齿条设在旋转膜厚修正板的一侧并与齿轮相啮合。

所述真空镀膜用实时膜厚修正板的控制方法，其主监控点设在旋转膜厚修正板的旋转中心上，辅助监控点设在主监控点的一侧或两侧；实时比较主监控点与辅助监控点的镀膜速率，调节旋转膜厚修正板的角度，使其遮挡镀膜速率过快的部分，并同时减少镀膜速率偏慢的部分，在保证主监控点镀膜速率稳定的条件下实现快速实时膜厚分布的修正。

由于本发明采用了上述技术方案，解决了现有的膜厚修正板存在的镀膜材料浪费大、镀膜不均匀和产品质量差的技术问题，因此，与现有技术相比，本发明的有益效果是：①监控半径设在旋转膜厚修正板的旋转中心，从而保证了监控点镀膜速率的稳定可靠。在保证光学膜厚仪精确度不变的情况下,调节膜厚的分布方便快捷；②机械结构更加简单可靠；③与目前镀膜机上广泛使用的固定膜厚修正板相比,降低了镀膜材料的耗损，减轻了离子源漂移等因素的影响,提高了镀膜产品的质量。

附图说明

图1是本发明的结构示意图；

图2是本发明旋转膜厚修正板的结构示意图；

图3是本发明固定膜厚修正板的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细描述。

如图1、图2和图3所示，本实施例中的真空镀膜用实时膜厚修正板，它包括膜厚修正板支架2，其中：它还包括旋转膜厚修正板1、旋转装置和固定膜厚修正板3，固定膜厚修正板3设在膜厚修正板支架2的一边，在固定膜厚修正板3上设有能使旋转膜厚修正板1旋转的回转导轨11，旋转膜厚修正板1设在固定膜厚修正板3的上面并使设置在旋转膜厚修正板1上的导柱8位于回转导轨11中，旋转装置设在固定膜厚修正板2上并位于旋转膜厚修正板1的一侧。所述旋转装置由齿轮4、齿条9和动力机构组成，齿轮4设在固定膜厚修正板3上并与动力机构的输出轴10连接，齿条9设在旋转膜厚修正板1的一侧并与齿轮4相啮合。主监控点7设置在旋转膜厚修正板1的旋转中心5上，辅助监控点6位于主监控点7一侧或两侧。

如图1所示，上述实施例中的真空镀膜用实时膜厚修正板的控制方法，其主监控点7设在旋转膜厚修正板的旋转中心5上，辅助监控点6设在主监控点7的一侧或两侧；实时比较主监控点7与辅助监控点6的镀膜速率，调节旋转膜厚修正板1的角度，使其遮挡镀膜速率过快的部分，并同时减少镀膜速率偏慢的部分，在保证主监控点7镀膜速率稳定的条件下实现快速实时膜厚分布的修正。

本发明的工作原理是：首先将旋转膜厚修正板1放置在水平位置；然后通过修改固定膜厚修正板3的形状，使薄膜的厚度分布达到均匀一致；最后，确认膜厚分布的变化沿修正板调节方向呈线性变化。然后比较主监控点7和辅助监控点6的镀膜速率，不断调整旋转膜厚修正板1的角度，镀膜速率快的一端要用旋转膜厚修正板1增加遮挡面积，并同时减少镀膜速率慢的一端，直至在整个监控范围获得最佳的膜厚分布。