[发明专利]用于大面积基板处理系统的加载锁定腔室在审

专利信息
申请号: 201410587106.6 申请日: 2009-08-27
公开(公告)号: CN104392947A 公开(公告)日: 2015-03-04
发明(设计)人: M·贝赫加德;栗田真一;稻川真;S·安瓦尔 申请(专利权)人: 应用材料公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 陆勍
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要:
搜索关键词: 用于 大面积 处理 系统 加载 锁定
【权利要求书】:

1.一种加载锁定,包括:

可抽真空腔室,具有基板支撑件用以支撑一或多个矩形基板,所述可抽真空腔室具有形成四个角落的四个侧壁;以及

四个泵端口,其中每一泵端口靠近所述四个角落中的相应角落。

2.如权利要求1所述的加载锁定,进一步包括:

一或多个真空装置,所述一或多个真空装置与所述泵端口耦接。

3.如权利要求2所述的加载锁定,其中所述一或多个真空装置包括与所有泵端口耦接的一个真空泵。

4.如权利要求2所述的加载锁定,其中所述一或多个真空装置包括多个真空泵,其中分隔的真空泵耦接至所述泵端口中的每一个。

5.如权利要求2所述的加载锁定,进一步包括:

多个通气端口。

6.一种设备,包括:

N个垂直堆栈的单一基板可抽真空加载锁定腔室,形成单一主体,其中N为大于1的整数,且各个所述加载锁定腔室具有用以支撑矩形基板的基板支撑件、形成四个角落的四个侧壁以及四个泵端口,其中各个泵端口靠近所述四个角落中的相应角落;以及

N-1个内壁,各个内壁将相邻的单一基板可抽真空加载锁定腔室分隔开且环境隔离。

7.如权利要求6所述的设备,进一步包括:

一或多个真空装置,耦接至所述泵端口。

8.如权利要求7所述的设备,其中所述一或多个真空装置包括一个与所有泵端口耦接的真空泵。

9.如权利要求7所述的设备,其中所述一或多个真空装置包括多个真空泵,其中分隔的真空泵耦接至各个泵端口。

10.如权利要求6所述的设备,其中N是3。

11.如权利要求10所述的设备,其中各个加载锁定腔室中的所述四个泵端口位于各个加载锁定腔室中的基板承接表面的下方。

12.如权利要求6所述的设备,其中各个加载锁定腔室中的所述四个泵端口位于所述加载锁定腔室中的基板承接表面的下方。

13.如权利要求7所述的设备,其中N是3。

14.如权利要求13所述的设备,其中所述一或多个真空装置包括一个耦接至所有泵端口的真空泵。

15.如权利要求14所述的设备,其中各个加载锁定腔室中的所述四个泵端口位于所述加载锁定腔室中的基板承接表面的下方。

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