[发明专利]一种分体式超精密空气静压单轴转台

权利要求书

1.一种分体式超精密空气静压单轴转台，包括转台回转轴系（1）、驱动轴系（4）和工作台面（13），其特征在于，还包括有空气静压联轴节（2），所述驱动轴系（4）通过空气静压联轴节（2）连接并驱动转台回转轴系（1），所述工作台面（13）同轴固接在转台回转轴系（1）上，所述驱动轴系（4）内设置有密珠轴承（8），所述密珠轴承（8）的轴孔与驱动电机（7）同轴固接，所述空气静压联轴节（2）与密珠轴承（8）通过定位子口保证同轴，并用螺钉紧固，所述转台回转轴系（1）内设置有径向空气静压轴承（11），所述径向空气静压轴承（11）与空气静压联轴节（2）通过定位子口保证同轴，并用螺钉紧固，在所述空气静压轴承（11）的轴孔端面处同轴设置有止推空气静压轴承（12）。

2.根据权利要求1所述的分体式超精密空气静压单轴转台，其特征在于，所述驱动轴系（4）包括有驱动轴系机座（6），所述密珠轴承（8）同轴安装在驱动轴系机座（6）的轴孔内。

3.根据权利要求1所述的分体式超精密空气静压单轴转台，其特征在于，所述转台回转轴系（1）包括转台回转轴系机座（9），所述径向空气静压轴承（11）同轴安装在空气静压轴系外套（10）的轴孔内，空气静压轴系外套（10）同轴安装在转台回转轴系机座（9）的轴孔内。

4.根据权利要求2所述的分体式超精密空气静压单轴转台，其特征在于，所述驱动轴系机座（6）底端设置有多个用于调整驱动轴系（4）水平的调平地脚（5）。

5.根据权利要求2所述的分体式超精密空气静压单轴转台，其特征在于，所述驱动轴系机座（6）顶端设置有多个用于调整转台回转轴系（1）与驱动轴系（4）的相对位置的调平支撑座（3）。

6.根据权利要求4所述的分体式超精密空气静压单轴转台，其特征在于，所述调平地脚（5）用于调平驱动轴系（4）。

7.根据权利要求5所述的分体式超精密空气静压单轴转台，其特征在于，所述调平支撑座（3）用于调平转台回转轴系（1）。