[发明专利]一种分体式超精密空气静压单轴转台

说明书

技术领域

本发明属于一种超精密传动技术领域，具体涉及一种分体式超精密空气静压单轴转台。

背景技术

在超精密传动技术领域中，超精密单轴转台是精密机械技术领域的核心基础元件，它为各类高精密科学仪器、设备提供了超精密回转运动基准与角位移计量基准，是衡量精密机械系统技术性能的主要技术指标之一。超精密单轴转台的研制过程涵盖了机械工程、电子工程、机构动力学、材料科学、精密工程设计、精密超精密工艺技术、精密超精密检测技术等众多学科和技术领域，凝聚了众多学科和领域的最新科技成果，它是现代设计技术、现代先进制造技术的综合体现和具体实践。传统的单轴转台结构由于自身结构特点等原因，要求结构安装精度高，装调工艺复杂，并且振动、冲击等不良影响通过传动结构的传递，直接影响转台的运动精度，这是现有传动结构不可避免的。

本发明中的分体式超精密空气静压单轴转台采用空气静压技术设计整体结构，转台回转轴系采用空气静压轴承，径向空气静压轴承保证转台径向跳动量的控制，提高转台的回转精度；止推空气静压轴承保证转台端面跳动量的控制，提高转台的平面定位精度。驱动轴系采用高刚性的密珠轴系结构，提供准确、恒定的驱动力。在驱动轴系与转台回转轴系之间通过空气静压联轴节相连接，简洁有效的减小了驱动系统产生的振动、冲击等对从动部件运动的影响，由于分体式超精密空气静压单轴转台可以通过气膜等自身进行微量的位置调整，安装精度要求可以大大降低。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术存在的问题，提供种分体式超精密空气静压单轴转台，该装置克服传统单轴转台现有技术存在的振动、倾斜、安装要求精度高，装调工艺复杂等缺点，转台回转轴系与驱动轴系分体独立装调好后通过空气静压联轴节相连接，可实现将驱动系统提供的驱动力恒定、准确的传递给转台回转结构，安装精度要求降低，装调工艺大大简化，在运动过程中静压腔中气膜可以微量的自动调整位置和姿态，不会产生侧向、径向的摆动，运行平稳，系统可靠性高。

为实现上述技术目的，达到上述技术效果，本发明通过以下技术方案实现：

一种分体式超精密空气静压单轴转台，包括转台回转轴系、驱动轴系和工作台面，还包括有空气静压联轴节，所述驱动轴系通过空气静压联轴节连接并驱动转台回转轴系，所述工作台面同轴固接在转台回转轴系上，所述驱动轴系内设置有密珠轴承，所述密珠轴承的轴孔与驱动电机同轴固接，所述空气静压联轴节与密珠轴承通过定位子口保证同轴，并用螺钉紧固，所述转台回转轴系内设置有径向空气静压轴承，所述径向空气静压轴承与空气静压联轴节通过定位子口保证同轴，并用螺钉紧固，在所述空气静压轴承的轴孔端面处同轴设置有止推空气静压轴承。

进一步的，所述驱动轴系包括有驱动轴系机座，所述密珠轴承同轴安装在驱动轴系机座的轴孔内。

进一步的，所述转台回转轴系包括转台回转轴系机座，所述径向空气静压轴承同轴安装在空气静压轴系外套的轴孔内，空气静压轴系外套同轴安装在转台回转轴系机座的轴孔内。

进一步的，所述驱动轴系机座底端设置有多个用于调整驱动轴系水平的调平地脚。

进一步的，所述驱动轴系机座顶端设置有多个用于调整转台回转轴系与驱动轴系的相对位置的调平支撑座。

进一步的，所述调平地脚用于调平驱动轴系。

进一步的，所述调平支撑座用于调平转台回转轴系。

本发明的有益效果是:

1、分体式超精密空气静压单轴转台可独立保证转台回转轴系、驱动轴系、空气静压联轴节的结构精度，安装精度要求降低，装调工艺大大简化。

2、转台回转轴系采用采用空气静压轴承，径向空气静压轴承保证转台径向跳动量的控制，提高转台的回转精度；止推空气静压轴承保证转台端面跳动量的控制，提高转台的平面定位精度。

3、空气静压联轴节装置在正常工作状态下，空气静压止推板在静压腔中可以微量的自动调整位置和姿态，保证空气静压联轴节运动的精度，不会产生侧向、径向的摆动，在垂直方向上也不存在旋转运动等。

附图说明

图1为本发明整体结构立体图；

图2为本发明整体结构剖视图；

图3为本发明转台回转轴系示意视图；

图4为本发明转台驱动轴系示意视图；

图5为本发明空气静压联轴节结构示意视图；

图6为本发明工作台面结构示意图。