[发明专利]传感器设备、力检测装置、机器人、电子部件输送装置、电子部件检查装置及部件加工装置

权利要求书

1.一种传感器设备，其特征在于，具备：

多个压电体；

输出电极，其形成在多个所述压电体之间，输出在所述压电体产生的电荷；

输出端子，其与所述输出电极电连接；

外壳，供所述输出端子固定并收纳所述压电体；

第一导电性部件，其与多个所述输出电极电连接；以及

第二导电性部件，其将所述第一导电性部件与所述输出端子电连接，并且与所述第一导电性部件相比弹性模量较低。

2.根据权利要求1所述的传感器设备，其特征在于，

所述第一导电性部件的杨氏模量在3.4GPa以上5.0GPa以下，所述第二导电性部件的杨氏模量在0.1GPa以上0.2GPa以下。

3.根据权利要求1所述的传感器设备，其特征在于，

所述第一导电性部件以及所述第二导电性部件由膏状材料构成，所述膏状材料包含具有导电性的填料，

所述第一导电性部件的填料的含有率比所述第二导电性部件的填料的含有率大。

4.根据权利要求1所述的传感器设备，其特征在于，

所述输出电极呈膜状，所述输出电极的厚度在20nm以上100nm以下。

5.根据权利要求1所述的传感器设备，其特征在于，

所述外壳具有凹部，所述凹部收纳所述压电体并且具有阶梯部，所述阶梯部的深度阶段性变化，并且所述输出端子被设置于所述阶梯部，

所述第二导电性部件与所述阶梯部连接。

6.一种力检测装置，其特征在于，具备：

传感器设备；以及

外力检测电路，其基于从所述传感器设备输出的电压，检测向传感器设备所施加的外力，

所述传感器设备具有：

多个压电体；

输出电极，其形成在多个所述压电体之间，输出在所述压电体产生的电荷；

输出端子，其与所述输出电极电连接；

外壳，供所述输出端子固定并收纳所述压电体；

第一导电性部件，其与多个所述输出电极电连接；以及

第二导电性部件，其将所述第一导电性部件与所述输出端子电连接，并且与所述第一导电性部件相比弹性模量较低。

7.一种机器人，其特征在于，具备：

至少1个臂连结体，其具有多个臂，并通过将所述多个臂中的相邻的所述臂彼此自由转动地连结而形成；

末端执行器，其被设置于所述臂连结体的前端侧；以及

权利要求6所记载的所述力检测装置，其被设置在所述臂连结体与所述末端执行器之间，并检测施加于所述末端执行器的外力。

8.一种电子部件输送装置，其特征在于，具备：

把持部，其把持电子部件；以及

权利要求6所记载的所述力检测装置，其检测施加于所述把持部的外力。

9.一种电子部件检查装置，其特征在于，具备：

把持部，其把持电子部件；

检查部，其对所述电子部件进行检查；以及

权利要求6所记载的所述力检测装置，其检测施加于所述把持部的外力。

10.一种部件加工装置，其特征在于，具备：

工具位移部，其供工具安装，并使所述工具位移；以及

权利要求6所记载的所述力检测装置，其检测施加于所述工具的外力。