[发明专利]传感器设备、力检测装置、机器人、电子部件输送装置、电子部件检查装置及部件加工装置

说明书

本发明提供一种传感器设备、力检测装置、机器人、电子部件输送装置、电子部件检查装置以及部件加工装置，该传感器设备具有：电荷输出元件，其具有多个压电体以及形成在各压电体之间的内部电极；外壳，其收纳电荷输出元件；第一导电性膏，其与多个内部电极电连接；以及第二导电性膏，其将第一导电性膏与输出端子电连接，并且与第一导电性膏相比弹性模量较低。另外，第一导电性膏的杨氏模量在3.4GPa以上5.0GPa以下，第二导电性膏的杨氏模量在0.1GPa以上0.2GPa以下。

技术领域

本发明涉及传感器设备、力检测装置、机器人、电子部件输送装置、电子部件检查装置以及部件加工装置。

背景技术

近年，以生产效率提高为目的，针对工厂等生产设施的工业用机器人导入正在发展。这种工业机器人具备能够相对于1轴或者多轴方向进行驱动的臂、以及安装于臂前端侧的手部、部件检查用器具或者部件输送用器具等末端执行器，能够执行部件的组装作业、部件加工作业等部件制造作业、部件输送作业以及部件检查作业等。

在这种工业用机器人中，例如，在臂与末端执行器之间设置有力检测装置。作为用于工业用机器人的力检测装置，例如，使用专利文献1所公开那样的力检测装置。专利文献1所记载的力检测装置的元件具有由多个压电基板以及被设置在它们之间的多个内部电极构成的层叠体。在层叠体的侧面设置有与内部电极的侧面电连接的配线，该配线例如由导电性膏构成，并且与外部电路等连接。

例如，在对铝板等母材施行机械加工的工业用机器人(工作机械)中，存在内置有当施行机械加工时检测针对母材的力的力检测装置的机器人(例如，参照专利文献2)。在专利文献2中，记载了如下结构的力检测装置：具备压电元件与收容该压电元件的筐体，并由筐体所具备的2个加压板夹持压电元件。

在专利文献2所记载的力检测装置中，若对加压板施加外力，则该外力被传递至压电元件，压电元件输出与外力相对应的电荷，从而能够基于该电荷来检测所施加的外力。另外，在这种力检测装置中，一般地，通过使用了铜线等的引线接合(wire bonding)，将压电元件与筐体连接， 并将压电元件接地。

专利文献1：日本特开2013－101020号公报

专利文献2：日本特开2013－257267号公报

然而，在专利文献1所记载的力检测装置的元件中，内部电极比较薄，所以有可能无法与配线充分地电连接。并且，在产生了应力时，导电性膏有可能因该应力而断裂(断线)。

并且，在专利文献2所记载的力检测装置中的通过引线接合进行的连接中，特别是在焊接接合铜线等的情况下，有可能因对力检测装置施加外力所引起的振动等，而使铜线断裂(断线)，从而产生连接不良。

这样，存在以下课题：由于有可能产生导电性膏的断线、通过引线接合而连接的部分的断线等，所以难以提供可靠性高的传感器设备、力检测装置、机器人、电子部件输送装置、电子部件检查装置以及部件加工装置。

发明内容

本发明是为了解决上述的课题的至少一部分而提出的，其能够作为以下的方式或者应用例来实现。

[应用例1]

本应用例的传感器设备的特征在于，具备：多个压电体；多个内部电极，其形成在多个上述压电体之间；外壳，其具有输出端子并收纳上述压电体；第一导电性部件，其与多个上述内部电极电连接；以及第二导电性部件，其将上述第一导电性部件与上述输出端子电连接，并且与上述第一导电性部件相比弹性模量较低。

由此，即使在导电性部件产生了应力的情况下，弹性模量较低的第二导电性部件也能够吸收该应力。因此，能够抑制或者防止导电性部件断裂。其结果是，能够得到可靠性较高的传感器设备。

[应用例2]