[发明专利]一种超声测厚方法

权利要求书

1.一种超声测厚方法，其特征在于：包括以下步骤：

步骤1：测量数据层位置；

首先把超声波换能器移动至器件上方，设置好前表面门1和数据门2，选择该器件物质铜的声速，选择超声波在材料中的传输速度，然后点击确定得到测定厚度的；

步骤2：测量数据层厚度；

首先把超声波换能器移动至器件上方，在超声扫描显微镜的示波器显示中，添加3个门：1个前表面门3、厚度数据门4和厚度数据门5，设置前表面门3、和厚度数据门1和厚度数据门2，对不同厚度的数据层进行不同颜色标定后，得到测定厚度的结果。

2.如权利要求1一种超声测厚方法，其特征在于：所述的步骤1中的前表面门1的作用是用来跟踪前表面的波形，数据门2的作用是确定被检层厚度的峰值波形，根据测厚原理在软件中加入测厚模块。

3.如权利要求1一种超声测厚方法，其特征在于：所述的步骤2中的前表面门3用来跟踪前表面的波形；厚度数据门1的作用是用来获取被测层物质的前表面的波形；厚度数据门2的作用是用来获取被测一层物质的后表面的波形，把不同厚度的部分标志成不同颜色的像素，根据测厚原理在软件中加入测厚模块。