[发明专利]一种超声测厚方法

说明书

技术领域

本发明涉及现代工艺专用设备技术领域，具体涉及一种超声测厚方法。

背景技术

超声扫描显微镜是一种用来检测物体内部结构、缺陷的无损检测设备，是用于检测器件内部的分层、气孔、裂缝和夹杂等缺陷，而且在判别密度差异、弹性模量、厚度等特性和几何形状的变化方面也具有一定的能力。其扫描模式主要有透射和反射两种。反射扫描主要分析超声波在分层或者缺陷上的反射波，可以确定缺陷的位置和尺寸，具有A、B、c、多层、TAMI等多种检测方法。随着超声扫描检测方式的多样化，客户需求也越来越丰富，对被测器件的厚度测量成为客户需求中越来越普遍的一种功能。超声测厚能在不损坏被测器件的情况下，准确检测器件或器件中某材料层的厚度，并同时发现设备的内部缺陷，它在节约原材料，提高产品质量控制能力等方面都起到了很大的作用。

发明内容

本发明旨在提出一种超声测厚方法。

本发明的技术方案在于：

一种超声测厚方法，包括以下步骤：

步骤1：测量数据层位置；

首先把超声波换能器移动至器件上方，设置好前表面门1和数据门2，选择该器件物质铜的声速，选择超声波在材料中的传输速度，然后点击确定得到测定厚度的；

步骤2：测量数据层厚度；

首先把超声波换能器移动至器件上方，在超声扫描显微镜的示波器显示中，添加3个门：1个前表面门3、厚度数据门4和厚度数据门5，设置前表面门3、和厚度数据门1和厚度数据门2，对不同厚度的数据层进行不同颜色标定后，得到测定厚度的结果。

优选地，所述的步骤1中的前表面门1的作用是用来跟踪前表面的波形，数据门2的作用是确定被检层厚度的峰值波形，根据测厚原理在软件中加入测厚模块。

或者优选地，所述的步骤2中的前表面门3用来跟踪前表面的波形；厚度数据门1的作用是用来获取被测层物质的前表面的波形；厚度数据门2的作用是用来获取被测一层物质的后表面的波形，把不同厚度的部分标志成不同颜色的像素，根据测厚原理在软件中加入测厚模块。

本方案的技术效果在于：

本发明能够在不损坏被测器件的情况下，准确检测器件或器件中某材料层的厚度，还可以同时发现设备的内部缺陷，在产品质量控制等方面起到了很重要的作用。在超声测厚将方向具有很大的前景，在半导体封装行业发挥重要的作用。

具体实施方式

一种超声测厚方法，包括以下步骤：

步骤1：测量数据层位置；

首先把超声波换能器移动至器件上方，设置好前表面门1和数据门2，选择该器件物质铜的声速，选择超声波在材料中的传输速度，然后点击确定得到测定厚度的；

步骤2：测量数据层厚度；

首先把超声波换能器移动至器件上方，在超声扫描显微镜的示波器显示中，添加3个门：1个前表面门3、厚度数据门4和厚度数据门5，设置前表面门3、和厚度数据门1和厚度数据门2，对不同厚度的数据层进行不同颜色标定后，得到测定厚度的结果。

其中，步骤1中的前表面门1的作用是用来跟踪前表面的波形，数据门2的作用是确定被检层厚度的峰值波形，根据测厚原理在软件中加入测厚模块。步骤2中的前表面门3用来跟踪前表面的波形；厚度数据门1的作用是用来获取被测层物质的前表面的波形；厚度数据门2的作用是用来获取被测一层物质的后表面的波形，把不同厚度的部分标志成不同颜色的像素，根据测厚原理在软件中加入测厚模块。