[发明专利]角速度传感器、电子设备以及移动体有效
| 申请号： | 201410601637.6 | 申请日： | 2014-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN104596495B | 公开（公告）日： | 2019-04-09 |
| 发明（设计）人： | 西泽竜太;中川啓史;清水教史 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01C19/5719 | 分类号： | G01C19/5719 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 黄威;苏萌萌 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 角速度 传感器 电子设备 以及 移动 | ||
【权利要求书】：
1.一种角速度传感器，其特征在于，具备：
基部；
振动部，其连接于所述基部；
检测部，其连接于所述基部，并通过与绕检测轴的角速度相对应的科里奥利力的作用而进行振动；
固定部；
支承部，其连接于所述固定部及所述基部；
检测电路，其与所述检测部电连接，
所述支承部包括一对梁部，
所述检测电路的检测频带的上限频率为f1[Hz]，
随着所述梁部的变形，包括所述基部、所述振动部以及所述检测部在内的质量相对于所述固定部而绕所述检测轴进行旋转振动的一次的旋转振动模式的谐振频率为f2[Hz]，
偏移频率为f3[Hz]，
并且满足f1＜f2＜f3的关系以及1.4≤f3/f2的关系。
2.如权利要求1所述的角速度传感器，其中，
满足f3/f2≤4的关系。
3.如权利要求1所述的角速度传感器，其中，
所述一次的旋转振动模式的Q值为5以上100以下。
4.如权利要求1所述的角速度传感器，其中，
满足f1/f2≤0.5的关系。
5.一种电子设备，其特征在于，
具备权利要求1至4中的任一项所述的角速度传感器。
6.一种移动体，其特征在于，
具备权利要求1至4中的任一项所述的角速度传感器。
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