[发明专利]角速度传感器、电子设备以及移动体

说明书

本发明提供一种即使在受到了绕检测轴的旋转振动的情况下也能够抑制由该旋转振动而引起的输出的变动的角速度传感器，此外，本发明还提供一种具备所涉及的角速度传感器并具有优异的可靠性的电子设备以及移动。本发明的角速度传感器具备：固定部(221、222)；基部(21)；将基部(21)相对于固定部(221、222)进行支承的梁部(223、224、225、226)；连接于基部(21)的驱动用振动臂(25～26)；连接于基部(21)的检测用振动臂(23、24)，在将检测频带的宽度设为f1[Hz]，将随着梁部(223、224、225、226)的变形而基部(21)相对于固定部(221、222)而绕检测轴进行旋转振动的旋转振动模式的谐振频率设为f2[Hz]，将偏移频率设为f3[Hz]时，满足f1＜f2＜f3的关系。

技术领域

本发明涉及一种角速度传感器、电子设备以及移动体。

背景技术

对角速度进行检测的角速度传感器被用于，例如，车辆中的车身控制、车辆导航系统的本车辆位置检测、数码照相机或录像机等的振动控制校正(所谓的手振校正)等。作为所涉及的角速度传感器，例如已知一种振动陀螺传感器(例如，参照专利文献1)。

例如，在专利文献1中记载的角速度传感器，具有经由振动体支承梁而相对于框体被支承的振动体。在该角速度传感器中，通过在使振动体于X轴方向上进行振动(驱动振动)的状态下，从外部施加绕Z轴的角速度时，在振动体上作用有科里奥利力，从而振动体在Y轴方向上进行位移(检测振动)。而且，通过对该振动体的Y轴方向的位移量进行检测，从而对绕Z轴的角速度进行检测。

并且，在这种的角速度传感器上，除了成为检测对象的角速度之外，还存在从外部施加的冲击，并且由该冲击引起的振动可能使检测精度等降低。

因此，在专利文献1中记载的角速度传感器中构成有冲击减弱机构，所述冲击减弱机构为，框体经由框体支承梁而相对于支承部被支承，并且框体及框体支承梁减弱如下现象，即，沿着振动体的振动方向以及检测方向中的至少一个方向的冲击从支承部传递至振动体的现象。由此，关于振动体的振动方向以及检测方向，即使施加于角速度传感器上的冲击的波形中包括接近于振动体的谐振频率的振动，也能够抑制对检测精度的影响。

然而，在专利文献1所记载的角速度传感器中，在施加有绕Y轴的旋转振动时，无法减弱该旋转振动。因此，例如由于在安装有传感器的基板的谐振等而施加有包括偏移频率(驱动振动的模式的谐振频率和检测振动的模式的谐振频率之差)附近的频率成分的旋转振动的情况下，将会因检测振动的谐振而产生超出设想的信号，在对信号进行处理的IC内部信号将会饱和，其结果为，存在输出发生变动的问题。

专利文献1：日本特开2001-194157号公报

发明内容

本发明提供一种即使在受到了绕检测轴的旋转振动的情况下，也能够抑制由该旋转振动而引起的输出的变动的角速度传感器，此外，还提供一种具备所涉及的角速度传感器并具有优异的可靠性的电子设备以及移动体。

本发明是为了解决上述的课题中的至少一部分而完成的发明，并且能够作为以下的方式或应用例来实现。

应用例1

本发明的角速度传感器的特征在于，具备：固定部；基部；支承部，其将所述基部相对于所述固定部而进行支承；振动部，其连接于所述基部；检测部，其连接于所述基部，并通过与绕检测轴的角速度相应的科里奥利力的作用而进行振动，并且在将检测频带的宽度设为f1[Hz]，将随着所述支承部的变形而所述基部相对于所述固定部而绕所述检测轴进行旋转振动的旋转振动模式的谐振频率设为f2[Hz]，将偏移频率设为f3[Hz]时，满足f1＜f2＜f3的关系。