[发明专利]检测磷化氢气体纯度的方法和装置

权利要求书

1.一种检测磷化氢气体纯度的方法，其特征在于包括：

先将采气袋和双排管路系统抽成真空，缓慢将磷化氢气体经由所述双排管路系统输入采气袋中；

然后，以氮气为载气，采用热导检测器测定待检测磷化氢气体中氢气的峰面积值S_H2，以及氢气为载气，采用热导检测器测定待检测磷化氢气体中氮气的峰面积值S_N2；

计算待检测磷化氢气体中氢气和氮气的体积百分含量ω_H2和ω_N2，其中ω_H2＝S_H2×f_H2，ω_N2＝S_N2×f_N2；

计算磷化氢的体积百分含量ω_PH3，ω_PH3＝100％-ω_H2-ω_N2；

所述的f_H2为氢气的校正因子，是以氮气作载气，采用热导检测器测定氢气和氮气标准混合气中体积百分比为ω_标H2的氢气的峰面积值S_标H2，而计算得出，f_H2＝ω_标H2/S_标H2；

所述的f_N2为氮气的校正因子，是以氢气作载气，采用热导检测器测定氢气和氮气标准混合气中体积百分比为ω_标N2的氮气的峰面积值S_标N2，而计算得出f_N2＝ω_标N2/S_标N2。

2.根据权利要求1所述的检测磷化氢气体纯度的方法，其特征在于所述的双排管路系统包括并排设置的第一管路和第二管路，所述的第一管路和所述的第二管路经由若干中间管路连接，第一管路一端与氮气源连接，第二管路一端与真空泵连接；

磷化氢气体经一条所述的中间管路单独或同时进入所述的第一管路和所述的第二管路后，由另一条所述的中间管路输入所述的采气袋。

3.根据权利要求1所述的检测磷化氢气体纯度的方法，其特征在于所述的磷化氢气体由亚磷酸为原料热解制备而得，纯度大于90v/v％以上。

4.一种检测磷化氢气体纯度的采集装置，其特征在于包括

双排管路系统，包括并排设置的第一管路和第二管路，所述的第一管路和所述的第二管路经由若干中间管路连接，所述的第一管路一端与氮气源连接，所述的第二管路一端与真空泵连接；

一条所述的中间管路还与磷化氢气源连接，另一条所述的中间管路还与所述的磷化氢气体采集袋相连。

5.根据权利要求4所述的检测磷化氢气体纯度的采集装置，其特征在于还包括

燃烧器，用于处置管路中未收集的残留磷化氢气体；

磷化氢气体安全排放系统，包括气体缓冲器和第一鼓泡器，所述的气体缓冲器与所述的第一鼓泡器连接，所述的第一鼓泡器出口将磷化氢气体输至燃烧器。

6.根据权利要求4所述的检测磷化氢气体纯度的采集装置，其特征在于还包括

燃烧器，用于处置管路中未收集的残留磷化氢气体；

磷化氢气体安全排放系统，包括气体缓冲器和第一鼓泡器，所述的气体缓冲器与所述的第一鼓泡器连接，所述的第一鼓泡器出口将磷化氢气体输至燃烧器；

磷化氢气体过压保护系统，包括汞柱和第二鼓泡器，所述的第二鼓泡器和所述的汞柱连接，所述的第二鼓泡器出口将磷化氢气体输至燃烧器；

所述的另一条中间管路还同时与所述的磷化氢气体采集袋和所述的气体缓冲器相连。

7.根据权利要求4-6之一所述的检测磷化氢气体纯度的采集装置，其特征在于还包括控制阀门，用于控制气体按需流通。