[发明专利]编码器、具有编码器的电机、和伺服系统

权利要求书

1.一种编码器，包括：

多个狭缝轨道，所述多个狭缝轨道分别具有沿着测量方向设置的多个反射狭缝；

点光源，所述点光源被配置为向所述多个狭缝轨道射出扩散光；

第一受光阵列，所述第一受光阵列被配置为接收由具有增量图案的所述狭缝轨道反射的光；

第二受光阵列，所述第二受光阵列被配置为接收由具有比其他的增量图案具有更长的间距的增量图案的所述狭缝轨道反射的光；以及

第三受光阵列，所述第三受光阵列被配置为接收由具有绝对图案的所述狭缝轨道反射的光。

2.根据权利要求1所述的编码器，其中，

所述第一受光阵列和所述第二受光阵列被配置在所述第三受光阵列的配置有所述点光源的方向侧的位置。

3.根据权利要求2所述的编码器，其中，

所述点光源被配置在由所述第一受光阵列和所述第二受光阵列构成的阵列与所述第三受光阵列之间。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的编码器，其中，

所述测量方向是以中心轴为中心的圆周方向；

所述点光源和所述第一受光阵列至所述第三受光阵列沿着圆的径向从外侧向所述中心轴按照所述第一受光阵列、所述第二受光阵列、所述点光源、所述第三受光阵列的顺序配置。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的编码器，其中，

所述测量方向是以中心轴为中心的圆周方向；

所述点光源和所述第一受光阵列至所述第三受光阵列沿着圆的径向从外侧向所述中心轴按照所述第三受光阵列、所述点光源、所述第一受光阵列、所述第二受光阵列的顺序配置。

6.根据权利要求2所述的编码器，其中，

所述点光源被配置在所述第一受光阵列与所述第二受光阵列之间。

7.根据权利要求6所述的编码器，其中，

所述测量方向是以中心轴为中心的圆周方向；

所述点光源和所述第一受光阵列至所述第三受光阵列沿着圆的径向从外侧向所述中心轴按照所述第一受光阵列、所述点光源、所述第二受光阵列、所述第三受光阵列的顺序配置。

8.根据权利要求6所述的编码器，其中，

所述测量方向是以中心轴为中心的圆周方向；

所述点光源和所述第一受光阵列至所述第三受光阵列沿着圆的径向从外侧向所述中心轴按照所述第三受光阵列、所述第一受光阵列、所述点光源、所述第二受光阵列的顺序配置。

9.根据权利要求1所述的编码器，其中，

所述第三受光阵列被配置为以夹置所述点光源、实质上对称的方式配置的两个轨道的受光阵列。

10.根据权利要求1所述的编码器，其中，

所述点光源、所述第一受光阵列、所述第二受光阵列以及所述第三受光阵列被配置在一个基板上。

11.一种编码器，包括：

多个狭缝轨道，所述多个狭缝轨道分别具有沿着测量方向设置的多个反射狭缝；

点光源，所述点光源被配置为向所述多个狭缝轨道射出扩散光；

第一受光阵列，所述第一受光阵列被配置为接收由具有增量图案的所述狭缝轨道反射的光；

第二受光阵列，所述第二受光阵列被配置为接收由具有比其他的增量图案具有更长的间距的增量图案的所述狭缝轨道反射的光；以及

配置有所述点光源、所述第一受光阵列以及所述第二受光阵列的一个基板。

12.一种具有编码器的电机，包括：

线性电机或者旋转电机，在所述线性电机中，可动部件相对于定子移动，在所述旋转电机中，转子相对于定子旋转；以及

被配置为检测所述可动部件或所述转子的位置和速度中的至少一者的根据权利要求1或11所述的编码器。

13.一种伺服系统，包括：

线性电机或者旋转电机，在所述线性电机中，可动部件相对于定子移动，在所述旋转电机中，转子相对于定子旋转；

被配置为检测所述可动部件或所述转子的位置和速度中的至少一者的根据权利要求1或11所述的编码器；以及

控制装置，所述控制装置被配置为根据所述编码器的检测结果控制所述线性电机或所述旋转电机。