[发明专利]编码器、具有编码器的电机、和伺服系统

说明书

技术领域

本发明涉及编码器、具有编码器的电机、和伺服系统。

背景技术

在JP,A,2012-103032中公开了一种反射型编码器。该编码器包括将光源夹在其之间地沿转盘的圆周方向分隔设置的增量受光元件组、以及相对于光源设置在转盘的径向上的外侧和内侧中的至少一者上的绝对受光元件组。

发明内容

本发明要解决的问题

近年来，伴随着伺服系统的性能的提高，在反射型编码器中越来越要求更高的分辨率。

因此，本发明的目的是提供能够实现高分辨率的编码器、具有编码器的电机、以及伺服系统。

用于解决问题的手段

为了解决上述问题，根据本发明的一个方面，提供一种编码器，包括：分别具有沿着测量方向设置的多个反射狭缝的多个狭缝轨道；被配置为向所述多个狭缝轨道射出扩散光的点光源；第一受光阵列，所述第一受光阵列被配置为接收由具有增量图案的所述狭缝轨道反射的光；以及第二受光阵列，所述第二受光阵列被配置为接收由具有比其他的增量图案具有更长的间距的增量图案的所述狭缝轨道反射的光；以及第三受光阵列，所述第三受光阵列被配置为接收由具有绝对图案的所述狭缝轨道反射的光。

为了解决上述问题，根据本发明的另一方面，提供一种编码器，包括：多个狭缝轨道，所述多个狭缝轨道分别具有沿着测量方向设置的多个反射狭缝；点光源，所述点光源被配置为向所述多个狭缝轨道射出扩散光；第一受光阵列，所述第一受光阵列被配置为接收由具有增量图案的所述狭缝轨道反射的光；第二受光阵列，所述第二受光阵列被配置为接收由具有比其他的增量图案具有更长的间距的增量图案的所述狭缝轨道反射的光；以及配置有所述点光源、所述第一受光阵列以及所述第二受光阵列的一个基板。

为了实现上述的目的，根据本发明的另一方面，提供一种具有编码器的电机，其包括：其中的可动部件相对于定子移动的线性电机、或者其中的转子相对于定子旋转的旋转电机；以及被配置为检测所述可动部件或所述转子的位置和速度中的至少一者的上述的编码器。

为了实现上述的目的，根据本发明的另一方面，提供一种伺服系统，其包括：其中的可动部件相对于定子移动的线性电机、或者其中的转子相对于定子旋转的旋转电机；被配置为检测所述可动部件或转子的位置和速度中的至少一者的上述的编码器；以及控制装置，所述控制装置被配置为根据所述编码器的检测结果控制所述线性电机或所述旋转电机。

发明效果

根据本发明的编码器等，能够实现高的分辨率。

附图说明

图1是用于说明实施方式所涉及的伺服系统的说明图。

图2是用于说明实施方式所涉及的编码器的说明图。

图3是用于说明实施方式所涉及的圆盘的说明图。

图4是用于说明实施方式所涉及的狭缝轨道的说明图。

图5是用于说明实施方式所涉及的光学模块和受光阵列的说明图。

图6是用于说明实施方式所涉及的位置数据生成部的说明图。

图7是用于说明由实施方式所涉及的圆盘表面的凹凸引起的不规则反射的说明图。

图8是用于说明由凸部引起的不规则反射成分的指向性的说明图。

图9是用于说明从X轴正方向观察到的不规则反射成分的强度分布的说明图。

图10是用于说明从Z轴正方向观察到的不规则反射成分的强度分布的说明图。

图11是用于说明变型例1涉及的光学模块和受光阵列的说明图。

图12是用于说明变型例2涉及的光学模块和受光阵列的说明图。

图13是用于说明变型例3涉及的光学模块和受光阵列的说明图。

图14是用于说明变型例4涉及的光学模块和受光阵列的说明图。

图15是用于说明变型例5涉及的光学模块和受光阵列的说明图。

图16是用于说明变型例6涉及的光学模块和受光阵列的说明图。

图17是用于说明变型例7涉及的光学模块和受光阵列的说明图。

图18是用于说明变型例8涉及的狭缝轨道的说明图。

图19是用于说明变型例8涉及的光学模块和受光阵列的说明图。

图20是用于说明变型例9涉及的光学模块和受光阵列的说明图。

图21是用于说明变型例10涉及的光学模块和受光阵列的说明图。

图22是用于说明变型例11涉及的光学模块和受光阵列的说明图。

具体实施方式

以下参照附图说明实施方式。