[发明专利]软性透光物体中蚀刻图案的检测装置及方法

权利要求书

1.一种软性透光物体中蚀刻图案的检测装置，包括横向设置的玻璃支撑板，所述玻璃支撑板的上表面开有多条相互连通的凹槽；其中一条凹槽的底部设有与玻璃支撑板外部连通的通孔，所述通孔与所述玻璃支撑板外部的吸风装置连通，所述玻璃支撑板的上方设置图像采集装置，其特征在于，所述检测装置还包括：

设置于所述玻璃支撑板下方并发射漫射光的面光源；所述面光源为每条凹槽提供的漫射光在所述玻璃支撑板上形成的照射区域的中心与每条对应凹槽的中心在同一垂线上，且所述照射区域的横向宽度与对应凹槽的横向宽度成设定比例，以使所述漫射光进入所述玻璃支撑板并由每条凹槽边缘射出后进入所述图像采集设备的接收器；所述面光源为每条凹槽提供的漫射光在所述玻璃支撑板上形成的照射区域的横向宽度与对应凹槽的横向宽度之比为5～10:1。

2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述面光源与所述玻璃支撑板之间还包括散射板，所述散射板与所述玻璃支撑板平行，且所述散射板的中心与所述面光源的中心在同一竖直线上；

所述散射板的横向长度大于或等于多条凹槽在横向方向上延伸的最大长度，所述散射板的纵向长度大于或等于多条凹槽在纵向方向上延伸的最大长度。

3.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述面光源包括多个LED颗粒，多个LED颗粒呈均匀的点阵排布。

4.一种软性透光物体中蚀刻图案的检测装置，包括横向设置的玻璃支撑板，所述玻璃支撑板的上表面开有多条相互连通的凹槽其中一条凹槽的底部设有与玻璃支撑板外部连通的通孔，所述通孔与所述玻璃支撑板外部的吸风装置连通，其特征在于，所述检测装置还包括：

移动的图像采集装置，设于所述玻璃支撑板的上方，沿横向方向由被检测物的一个侧端向另一侧端依次进行线性扫描；

移动的面光源，设于所述玻璃支撑板下方并与所述图像采集装置的移动同步，所述面光源发射漫射光，所述面光源在所述玻璃支撑板上形成的照射区域的横向宽度与所述图像采集装置一次扫描区域的横向宽度成设定比例，且所述面光源在所述玻璃支撑板上形成的照射区域的中心与所述图像采集装置一次扫描区域的中心重合，以使所述漫射光进入所述玻璃支撑板并由每条凹槽边缘射出后进入所述图像采集装置的接收器；所述面光源在所述玻璃支撑板上形成的照射区域的横向宽度与被扫描区域的横向宽度之比为5～10:1。

5.根据权利要求4所述的检测装置，其特征在于，所述面光源与所述玻璃支撑板之间还包括散射板，所述散射板与所述玻璃支撑板平行并与所述面光源同步移动；

所述散射板的中心与所述面光源的中心在同一竖直线上。

6.根据权利要求4所述的检测装置，其特征在于，所述面光源包括多个LED颗粒，多个LED颗粒呈均匀的点阵排布。

7.一种软性透光物体中蚀刻图案检测方法，其特征在于，包括：

横向放置玻璃支撑板，将被检测物放置于玻璃支撑板的上表面，与所述玻璃支撑板上表面开有的多条凹槽连通的吸风装置吸取所述被检测物与所述玻璃支撑板上表面之间的空气使所述被检测物展平；

在所述玻璃支撑板下方设置发射漫射光的面光源，所述面光源为每条凹槽提供的漫射光在所述玻璃支撑板上形成的照射区域的中心与每条对应凹槽的中心在同一垂线上，且所述照射区域的横向宽度与对应凹槽的横向宽度成设定比例，以使所述漫射光进入所述玻璃支撑板并由每条凹槽边缘射出后进入所述玻璃支撑板上方设置的图像采集装置的接收器内；所述面光源为每条凹槽提供的漫射光在所述玻璃支撑板上形成的照射区域的横向宽度与对应凹槽的横向宽度之比为5～10:1。

8.一种软性透光物体中蚀刻图案检测方法，其特征在于，包括：

横向放置玻璃支撑板，将被检测物放置于所述玻璃支撑板的上表面，与所述玻璃支撑板上表面开有的多条凹槽连通的吸风装置吸取所述被检测物与所述玻璃支撑板上表面之间的空气使所述被检测物展平；

横向移动玻璃支撑板上方的图像采集装置，由所述被检测物的一个侧端向另一侧端依次进行线性扫描；

横向移动所述玻璃支撑板下方的面光源并与所述图像采集装置的移动同步，使所述面光源发射漫射光，且所述面光源在所述玻璃支撑板上形成的照射区域的横向宽度与所述图像采集装置一次扫描区域的横向宽度成设定比例，并使所述面光源在所述玻璃支撑板上形成的照射区域的中心与所述图像采集装置一次扫描区域的中心重合，以使所述漫射光进入所述玻璃支撑板并由每条凹槽边缘射出后进入所述图像采集装置的接收器；所述面光源在所述玻璃支撑板上形成的照射区域的横向宽度与被扫描区域的横向宽度之比为5～10:1。