[发明专利]软性透光物体中蚀刻图案的检测装置及方法

说明书

技术领域

本发明涉及电光学器件检测领域，具体涉及一种软性透光物体中蚀刻图案的检测装置及方法。

背景技术

对于透光物体(如菲林等)上蚀刻图案的检测，通常采用图1中所示的检测设备进行检测。该检测设备包括设置于固定位置的背光光源01、玻璃支撑板02和图像采集设备03。被检测物04平放于玻璃支撑件的上表面。背光光源01发出的散射光透过玻璃垂直照射被检测物。光线在到达检测物上的图形处时被吸收，在到达图形以外的空白处时，透过被检测物后射出，因此检测物上的图形能够在图像采集设备中成像。

当较软的被检测物平置于玻璃支撑板上时，其四周或是其他部分易会出现翘曲，进而影响被检测物上图案的图像采集。为避免较软被检测物在玻璃支撑平面上出现翘曲，通过在玻璃支撑板上开槽实现被检测物的展平。图2示出了玻璃支撑板上带开槽的检测设备图。如图2所示，玻璃支撑板02的上表面开有多条相互连通的凹槽05。被检测物04平放于玻璃支撑板02的上表面后，风机通过凹槽05中的空隙将被检测物04和玻璃支撑板02上表面之间的空气抽走，被检测物04就会吸帖在玻璃支撑板02上表面，实现展平。

本发明的发明人发现，在玻璃支撑板上开设凹槽可较好地实现被检测物的展平，但同时玻璃支撑板上的凹槽又带来了其他问题。如图3所示，垂直射入玻璃支撑板的入射光线与法线的夹角为a，由于光线由玻璃射入空气，折射角b大于入射角，出射光线改变传输方向而无法进入图像采集设备的拍摄区域。而未经开槽部位的光线经玻璃支撑板后能够进入图像采集设备的拍摄区域，因此开槽在图像采集设备中所成的图像相较于玻璃支撑板其他部分的图像为黑色线条，若该黑色线条与被检测物上蚀刻的图案在图像采集设备中的图像重合，则无法判断被检测物上蚀刻的图案是否合格。若该黑色线条与被检测物上蚀刻的图案在图像采集设备中的图像存有交叉或部分重合，则确定被检测物为不合格产品，从而造成大量的误检。

发明内容

本发明的发明目的在于提供一种抑制开槽在图像采集装置中成像的检测装置和方法，避免由于玻璃支撑板上的开槽在图像采集装置中的成像而造成的误检。

根据本发明的一个方面，本发明的实施例提供了一种软性透光物体中蚀刻图案的检测装置，包括：横向设置的玻璃支撑板，所述玻璃支撑板的上表面开有多条相互连通的凹槽；其中一条凹槽的底部设有与玻璃支撑板外部连通的通孔，所述通孔与所述玻璃支撑板外部的吸风装置连通，所述玻璃支撑板的上方设置图像采集装置，以及，

设置于所述玻璃支撑板下方并发射漫射光的面光源；所述面光源为每条凹槽提供的漫射光在所述玻璃支撑板上形成的照射区域的中心与每条对应凹槽的中心在同一垂线上，且所述照射区域的横向宽度与对应凹槽的横向宽度成设定比例，以使所述漫射光进入所述玻璃支撑板并由每条凹槽边缘射出后进入所述图像采集设备的接收器。

其中，所述面光源为每条凹槽提供的漫射光在所述玻璃支撑板上形成的照射区域的横向宽度与对应凹槽的横向宽度之比为5～10:1。

进一步地，所述面光源与所述玻璃支撑板之间还包括散射板，所述散射板与所述玻璃支撑板平行，且所述散射板的中心与所述面光源的中心在同一竖直线上；

所述散射板的横向长度大于或等于多条凹槽在横向方向上延伸的最大长度，所述散射板的纵向长度大于或等于多条凹槽在纵向方向上延伸的最大长度。

优选地，所述面光源包括多个LED颗粒，多个LED颗粒呈均匀的点阵排布。

根据本发明的另一方面，还提供了一种软性透光物体中蚀刻图案的检测装置，包括横向设置的玻璃支撑板，所述玻璃支撑板的上表面开有多条相互连通的凹槽其中一条凹槽的底部设有与玻璃支撑板外部连通的通孔，所述通孔与所述玻璃支撑板外部的吸风装置连通，以及，

移动的图像采集装置，设于所述玻璃支撑板的上方，沿横向方向由所述被检测物的一个侧端向另一侧端依次进行线性扫描；

移动的面光源，设于所述玻璃支撑板下方并与所述图像采集装置的移动同步，所述面光源发射漫射光，所述面光源在所述玻璃支撑板上形成的照射区域的横向宽度与所述图像采集装置一次扫描区域的横向宽度成设定比例，且所述面光源在所述玻璃支撑板上形成的照射区域的中心与所述图像采集装置一次扫描区域的中心重合，以使所述漫射光进入所述玻璃支撑板并由每条凹槽边缘射出后进入所述图像采集装置的接收器。

其中，所述面光源在所述玻璃支撑板上形成的照射区域的横向宽度与被扫描区域的横向宽度之比为5～10:1。

进一步地，所述面光源与所述玻璃支撑板之间还包括散射板，所述散射板与所述玻璃支撑板平行并与所述面光源同步移动；