[发明专利]液滴振动装置及液滴振动方法

权利要求书

1.一种液滴振动装置，其特征在于，具备：

上电极；

下电极，能够承载基板；

变更机构，变更彼此相对的所述上电极和所述下电极的距离；

传感器，能够检测在所述基板的、与所述上电极相对的一侧形成的液滴；以及

控制器，改变在所述上电极和所述下电极之间施加的施加电压而使所述液滴振动，并判断所述液滴是否被所述传感器检测到，

所述控制器分别判断在所述施加电压的频率或所述距离不同的多个条件下所述液滴是否被所述传感器检测到，所述控制器在所述多个条件中的所述液滴被所述传感器检测到且所述距离最大的条件的所述频率及所述距离下，使所述液滴振动。

2.根据权利要求1所述的液滴振动装置，其特征在于，

所述控制器在将所述施加电压的频率保持为第一频率的同时使所述距离逐渐改变，并分别判断所述液滴是否被所述传感器检测到，所述控制器将所述施加电压的频率从所述第一频率变更为第二频率，且在保持为所述第二频率的同时使所述距离逐渐改变，并分别判断所述液滴是否被所述传感器检测到。

3.根据权利要求2所述的液滴振动装置，其特征在于，

所述控制器使所述距离渐渐改变，在从所述液滴被所述传感器检测到的状态变为不被检测到的状态时，或者从所述液滴不被所述传感器检测到的状态变为被检测到的状态时，所述控制器将所述施加电压的频率从所述第一频率变更为所述第二频率。

4.根据权利要求1所述的液滴振动装置，其特征在于，

所述控制器在将所述距离保持为第一距离的同时使所述频率逐渐改变，并分别判断所述液滴是否被所述传感器检测到，所述控制器将所述距离从所述第一距离变更为第二距离，且在保持为所述第二距离的同时使所述频率逐渐改变，并分别判断所述液滴是否被所述传感器检测到。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的液滴振动装置，其特征在于，

所述传感器是具有在与承载所述基板的所述下电极的面平行的方向上带有宽度的检测区域的区域传感器。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的液滴振动装置，其特征在于，

在所述液滴被所述传感器检测到且所述距离最大的条件的所述频率及所述距离下使所述液滴振动时，在所述液滴不再被所述传感器检测到的情况下，使所述距离变窄而使所述液滴振动。

7.一种液滴振动装置，其特征在于，具备：

上电极；

下电极，能够承载基板；

传感器，能够检测在所述基板的、与所述上电极相对的一侧形成的液滴；以及

控制器，使在所述上电极和所述下电极之间施加的施加电压改变而使所述基板上的液滴振动，

所述传感器具有受光部，并输出与所述受光部的受光量对应的信号，

所述控制器在所述施加电压的频率不同的多个条件下使所述液滴振动，在所述多个条件中的所述信号的变化量最大的条件的频率下，使所述液滴振动。

8.根据权利要求7所述的液滴振动装置，其特征在于，

在所述上电极和所述下电极之间具有所述传感器的检测区域，

所述控制器设定所述上电极和所述下电极之间的距离，使得所述传感器的检测区域比所述液滴的静止时的顶部高，所述控制器在所述施加电压的频率不同的多个条件下使所述液滴振动。

9.根据权利要求7所述的液滴振动装置，其特征在于，

在所述上电极和所述下电极之间具有所述传感器的检测区域，

所述控制器设定所述上电极和所述下电极之间的距离，使得所述传感器的检测区域比所述液滴的静止时的顶部低，所述控制器在所述施加电压的频率不同的多个条件下使所述液滴振动。

10.根据权利要求9所述的液滴振动装置，其特征在于，

所述控制器将所述多个条件中、所述液滴的静止时的所述传感器的信号与所述液滴的振动时的表示所述受光量最多的所述传感器的信号之差设定为所述变化量。

11.根据权利要求8或9所述的液滴振动装置，其特征在于，

所述控制器将所述多个条件中、所述液滴的静止时的所述传感器的信号与所述液滴的振动时的表示所述受光量最少的所述传感器的信号之差设定为所述变化量。