[发明专利]液滴振动装置及液滴振动方法

说明书

技术领域

本发明涉及液滴振动装置及液滴振动方法。

背景技术

存在通过改变在电极间施加的电压而改变电极间的电场，利用库仑力使基板上的液滴振动的装置。在专利文献1、2中，提出通过利用库仑力使液滴振动从而搅拌微少量的样品(液滴)。

为了促进样品的搅拌，优选增大液滴的振幅。但是，液滴的振动因各种因素(液滴的粘度、液滴适当的量、表面张力、温度、液滴的大小等)变化，因此难以预先取得使液滴的振幅增大的最佳条件。因此，操作者一边目视配置于狭窄电极间的液滴，一边调整施加电压的频率等条件。

然而，通过操作者目视来调整条件，存在调整结果因操作者不同而产生偏差之忧。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2010-119388号公报

专利文献2：日本专利特开2012-13598号公报

发明内容

本发明的目的在于，使装置可以自动取得增大液滴的振幅的条件。

为了达成上述目的的主要的发明，其特征在于，具备：上电极；可承载基板的下电极；变更彼此相对的所述上电极和所述下电极的距离的变更机构；可以检测在所述基板的、与所述上电极相对的一侧形成的液滴的传感器；以及改变在所述上电极和所述下电极之间施加的施加电压而使所述液滴振动，并判断所述液滴是否被所述传感器检测到的控制器，所述控制器在所述施加电压的频率或所述距离不同的多个条件下，分别判断所述液滴是否被所述传感器检测到，在所述多个条件中的所述液滴被所述传感器检测到且所述距离最大的条件的所述频率及所述距离下，使所述液滴振动。

本发明的其他特征可以从本说明书及附图的记载中得知。

附图说明

图1A是液滴振动装置1的整体立体图。图1B是打开液滴振动装置1的盖1B时的情况的立体图。

图2A及图2B是液滴振动装置1的框图。

图3A及图3B是区域传感器30的说明图。图3C是参考例的传感器的说明图。

图4A～图4C是在基板W上形成液滴S的情况的说明图。图4A是用于将规定的直径的防水圆描绘在基板W上的模板的说明图。图4B是在基板W上描绘防水圆的情况的说明图。图4C是在基板W上形成液滴S的情况的说明图。

图5A～图5C是液滴振动装置1的动作说明图。

图6A～图6C是液滴S的振动的说明图。图6A是对向电极间施加电压前(电极间的电场产生前)的液滴S的状态的说明图。图6B是向电极间施加高电压后(在电极间产生强电场时)的液滴S的状态的说明图。图6C是解除施加高电压时(或急剧减少施加电压时)的液滴S的状态的说明图。

图7A及图7B是探索振幅大的条件的方法的简要说明图。

图8是第1实施方式的条件探索处理的流程图。

图9是第1实施方式的条件探索处理的变形例的流程图。

图10是第2实施方式的条件探索处理的流程图。

图11是第3实施方式的液滴振动处理的流程图。

图12是第3实施方式的液滴振动处理的变形例的流程图。

图13是第4实施方式的条件探索方法的简要说明图。

图14是第4实施方式的条件探索处理的流程图。

图15A及图15B是第5实施方式的条件探索方法的简要说明图。

图16是第5实施方式的条件探索处理的流程图。

图17A及图17B是第5实施方式的变形例的条件探索方法的简要说明图。

图18是第7实施方式的液滴振动处理的流程图。

图19A及图19B是第8实施方式的反应装置3的框图。

符号说明

1…液滴振动装置，1A…壳体，1B…盖，3…反应装置，11…上电极，12…下电极，12A…槽，21…升降机构，22…电源装置，23…移动机构，24…控制面板，30…区域传感器，31…发光部，32…受光部，34…检测光，40…控制器，41…运算电路，42…存储器，51…吐出头，52…风扇，53…废液罐，W…基板，S…液滴。

具体实施方式

根据本说明书及附图的记载，至少明确了以下事项。