[发明专利]基板液处理装置和基板液处理方法

权利要求书

1.一种基板液处理装置，其特征在于，

该基板液处理装置具备：

罐，其用于积存将至少两种原料液混合而成的处理液；

循环管线，其供处理液以从所述罐流出并返回到所述罐的方式流动；

液处理部，其被配置为使用循环管线中流动的处理液来对基板实施液处理；

处理液生成机构，其用于将从所述至少两种原料液各自的供给源供给的原料液混合而生成处理液；

处理液供给管线，其用于向所述罐供给由所述处理液生成机构生成的处理液；

浓度测量装置，其用于测量在所述循环管线中流动的处理液的浓度和在所述处理液供给管线中流动的处理液的浓度；以及

控制装置，其用于基于由所述浓度测量装置测量出的处理液的浓度控制所述处理液生成机构，以使得在所述循环管线中流动的处理液的浓度和在所述处理液供给管线中流动的处理液的浓度成为预先决定好的范围内的浓度，

该基板液处理装置还具备浓度测量用的取出管线，该取出管线用于取出在所述循环管线中流动的处理液并将处理液输送到所述处理液供给管线，所述浓度测量装置设于所述处理液供给管线，能够测量利用所述处理液生成机构生成的处理液的浓度和从所述循环管线经由所述取出管线被输送到所述处理液供给管线的处理液的浓度这两者。

2.根据权利要求1所述的基板液处理装置，其特征在于，

所述控制装置基于由所述浓度测量装置测量出的在所述循环管线中流动的处理液的浓度控制所述处理液生成机构，使得经由所述处理液供给管线向所述罐供给为了使在所述循环管线中流动的处理液的浓度成为预先决定好的范围内的浓度所需要的浓度和所需要的量的处理液。

3.根据权利要求1或2所述的基板液处理装置，其特征在于，

所述控制装置基于由所述浓度测量装置测量出的在所述处理液供给管线中流动的处理液的浓度控制所述处理液生成机构，使得经由所述处理液供给管线向所述罐供给为了使在所述处理液供给管线中流动的处理液的浓度成为预先决定好的范围内的浓度所需要的浓度和所需要的量的处理液。

4.根据权利要求1或2所述的基板液处理装置，其特征在于，

在从所述处理液生成机构经由所述处理液供给管线向所述罐供给处理液时，所述控制装置基于由所述浓度测量装置测量出的在所述处理液供给管线中流动的处理液的浓度控制所述处理液生成机构中的原料液的混合比，使得在所述处理液供给管线中流动的处理液的浓度成为所述预先决定好的范围内的浓度。

5.根据权利要求1或2所述的基板液处理装置，其特征在于，

所述浓度测量装置测量在所述处理液供给管线中流动的处理液的瞬时浓度，

在利用所述处理液生成机构开始生成处理液之后，所述控制装置算出由所述浓度测量装置测量出的瞬时浓度的累计平均值，并且监视该累计平均值，进而控制所述处理液生成机构，以使得所述累计平均值落入预先决定好的容许范围内。

6.根据权利要求5所述的基板液处理装置，其特征在于，

该基板液处理装置还具备：

排液管线，其自所述处理液供给管线分支，用于从所述处理液供给管线排出处理液；以及

切换机构，其在使得由所述处理液生成机构生成的处理液流入所述排液管线的第1状态和使得由所述处理液生成机构生成的处理液被供给到所述罐的第2状态之间进行切换，

所述控制装置进行控制，以使得在所述累计平均值在预先决定好的容许范围内时将所述切换机构设为所述第2状态，在所述累计平均值偏离了预先决定好的容许范围时将所述切换机构设为所述第1状态。