[发明专利]振动稳健的转速传感器

权利要求书

1.一种转速传感器(1)，其具有一个衬底和多个振动质量(10、20、30、40、50、60、70、80)，所述衬底具有主延伸平面(100)，其中，对于所述多个振动质量(10、20、30、40、50、60、70、80)中的每一个振动质量：

所述振动质量能够被驱动进行驱动振动，其中，所述驱动振动沿着与所述主延伸平面(100)平行地设置的驱动方向(11)实现；

所述振动质量是能够沿着两个不同的偏转方向(12、12')偏转的，其中，所述两个不同的偏转方向(12、12')垂直于所述驱动方向(11)地设置，其中，所述多个振动质量(10、20、30、40、50、60、70、80)包括至少四个振动质量(10、20、30、40)，其中，所述至少四个振动质量(10、20、30、40)沿与所述衬底的主延伸平面(100)平行地设置的驱动层延伸，其中，分配给所述至少四个振动质量(10、20、30、40)的驱动方向沿所述驱动层延伸，其中，所述多个振动质量(10、20、30、40、50、60、70、80)包括至少四个另外的振动质量(50、60、70、80)，其中，所述至少四个另外的振动质量(50、60、70、80)沿与所述衬底的主延伸平面(100)平行地设置的另一驱动层延伸，其中，分配给所述至少四个另外的振动质量(50、60、70、80)的驱动方向沿所述另一驱动层延伸，其中，所述驱动层和所述另一驱动层沿与所述衬底的主延伸平面(100)垂直的法线方向相叠地并且相互间隔开地设置；

其中，所述转速传感器(1)配置成用于根据所述多个振动质量(10、20、30、40、50、60、70、80)的多个所探测的偏转产生多个探测信号(112、112'、…、182、182')，其中，所述多个振动质量的每个偏转方向(12、12')分配有所述多个探测信号(112、112'、…、182、182')中的一个探测信号，其特征在于，所述转速传感器(1)配置成用于使所述转速传感器(1)关于所述转速传感器(1)的至少一个旋转轴线(101'、102'、103')中的每一个的直线加速度、旋转加速度和离心加速度通过所述多个探测信号(112、112'、…、182、182')中的分别两个对应的探测信号的补偿来均衡。

2.根据权利要求1所述的转速传感器(1)，其特征在于，所述转速传感器(1)配置成用于使所述转速传感器(1)关于所述转速传感器(1)的三个不同旋转轴线(101'、102'、103')的直线加速度、旋转加速度和离心加速度根据所述多个探测信号(112、112'、…、182、182')来均衡。

3.根据以上权利要求中任一项所述的转速传感器(1)，其特征在于，所述转速传感器(1)配置成用于使所述直线加速度、所述旋转加速度和所述离心加速度通过所述多个探测信号(112、112'、…、182、182')的求和和/或求差来均衡。

4.根据权利要求2所述的转速传感器(1)，其特征在于，所述转速传感器(1)具有分析处理装置(90)，其中，所述多个振动质量(10、20、30、40、50、60、70、80)能够被驱动进行所述驱动振动并且设置成使得通过所述分析处理装置(90)借助于对应的探测信号(112、112'、…、182、182')的补偿能够均衡关于所述三个旋转轴线(101'、102'、103')中的每一个的所述直线加速度、所述旋转加速度和所述离心加速度。

5.根据权利要求1或2所述的转速传感器(1)，其特征在于，所述多个振动质量(10、20、30、40、50、60、70、80)弹簧弹性地相互连接并且与所述衬底连接，使得所述多个振动质量(10、20、30、40、50、60、70、80)能够被驱动进行所述驱动振动，使得所述直线加速度、所述旋转加速度和所述离心加速度是能够关于三个旋转轴线(101'、102'、103')均衡的。

6.根据以上权利要求1或2所述的转速传感器(1)，其特征在于，所述至少四个振动质量(10、20、30、40)是恰恰四个振动质量。