[发明专利]振动稳健的转速传感器

说明书

本发明提出一种转速传感器，其具有一个衬底和多个振动质量，所述衬底具有主延伸平面，其中，对于所述多个振动质量中的每一个振动质量有：所述振动质量能够被驱动进行驱动振动，其中，所述驱动振动沿着与所述主延伸平面平行地设置的驱动方向实现；所述振动质量是能够沿着两个不同的偏转方向偏转的，其中，所述两个不同的偏转方向垂直于所述驱动方向地设置；其中，所述转速传感器配置用于根据所述多个振动质量的多个所探测的偏转产生多个探测信号，其中，所述多个振动质量的每个偏转方向分配有所述多个探测信号中的一个探测信号，其中，所述转速传感器如此配置，使得所述转速传感器的直线加速度、旋转加速度和离心加速度关于所述转速传感器的至少一个旋转轴线通过所述多个探测信号中的分别两个对应的探测信号的补偿来均衡。

技术领域

本发明从一种转速传感器出发。

背景技术

这样的转速传感器众所周知。然而已知的转速传感器具有相对于外部干扰相对较高的敏感性，其中，在转速传感器中产生影响转速传感器功能的干扰信号。这样的干扰例如是转速传感器的加速度。

发明内容

因此本发明的任务在于，提供一种具有改善的振动稳健性的转速传感器，从而在外部干扰的影响下也确保转速传感器的更可靠的运行。

根据本发明，提出一种转速传感器，其具有一个衬底和多个振动质量，所述衬底具有主延伸平面，其中，对于所述多个振动质量中的每一个振动质量：所述振动质量能够被驱动进行驱动振动，其中，所述驱动振动沿着与所述主延伸平面平行地设置的驱动方向实现；所述振动质量是能够沿着两个不同的偏转方向偏转的，其中，所述两个不同的偏转方向垂直于所述驱动方向地设置，其中，所述多个振动质量包括至少四个振动质量，其中，所述至少四个振动质量主要沿与所述衬底的主延伸平面平行地设置的驱动层延伸，其中，分配给所述至少四个振动质量的驱动方向沿所述驱动层延伸，其中，所述多个振动质量包括至少四个另外的振动质量，其中，所述至少四个另外的振动质量主要沿与所述衬底的主延伸平面平行地设置的另一驱动层延伸，其中，所述分配给至少四个另外的振动质量的驱动方向沿所述另一驱动层延伸，其中，所述驱动层和所述另一驱动层沿与所述衬底的主延伸平面垂直的法线方向相叠地并且相互间隔开地设置；其中，所述转速传感器配置用于根据所述多个振动质量的多个所探测的偏转产生多个探测信号，其中，所述多个振动质量的每个偏转方向分配有所述多个探测信号中的一个探测信号，其中，所述转速传感器配置成用于使所述转速传感器的直线加速度、旋转加速度和离心加速度关于所述转速传感器的至少一个旋转轴线中的每一个通过所述多个探测信号中的分别两个对应的探测信号的补偿来均衡。

根据本发明，还提出一种用于运行上述转速传感器的方法，其中，在第一运行步骤中以绕所述转速传感器的第一旋转轴线的第一转速、以绕所述转速传感器的第二旋转轴线的第二转速和/或以绕所述转速传感器的第三旋转轴线的第三转速加载所述转速传感器，其中，以直线加速度、旋转加速度和离心加速度加载所述转速传感器，其中，在第二运行步骤中驱动所述多个振动质量进行沿所分配的驱动方向的驱动振动，其中，所述多个振动质量包括至少四个振动质量，其中，所述至少四个振动质量主要沿与所述衬底的主延伸平面平行地设置的驱动层延伸，其中，分配给所述至少四个振动质量的驱动方向沿所述驱动层延伸，其中，所述多个振动质量包括至少四个另外的振动质量，其中，所述至少四个另外的振动质量主要沿与所述衬底的主延伸平面平行地设置的另一驱动层延伸，其中，所述分配给至少四个另外的振动质量的驱动方向沿所述另一驱动层延伸，其中，所述驱动层和所述另一驱动层沿与所述衬底的主延伸平面垂直的法线方向相叠地并且相互间隔开地设置，其中，在第三运行步骤中根据所述第一、第二和/或第三转速使所述多个振动质量偏转，其中，在第四运行步骤中根据所述多个振动质量的偏转产生所述多个探测信号，其中，在第五运行步骤中通过所述转速传感器确定所述第一、第二和/或第三转速，其中，通过所述多个探测信号中的分别两个对应的探测信号的补偿来均衡所述直线加速度、旋转加速度和离心加速度。