[发明专利]振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体

权利要求书

1.一种振动元件，其特征在于，该振动元件包含：

基部；以及

一对振动臂，它们在俯视时从所述基部起沿着第1方向延伸，包含施重部和配置于所述基部与所述施重部之间的臂部，沿着与所述第1方向垂直的第2方向并排配置，

在设所述振动臂的厚度为T，所述施重部彼此的沿着所述第2方向的相隔距离为W4时，满足0.033T＜W4＜0.330T[μm]，

所述振动臂具备相互处于正反关系的第1主面和第2主面，并且具有设于所述第1主面侧的第1槽和设于所述第2主面侧的第2槽，

在设所述第1槽的深度与所述第2槽的深度的合计为ta，ta/T为η，俯视时所述振动臂的沿着所述第1方向的外缘的一方与所述第1槽之间的所述第1主面的沿着所述第2方向的宽度、或者所述外缘的一方与所述第2槽之间的所述第2主面的沿着所述第2方向的宽度为W3时，满足

4.236×10×η²－8.473×10×η+4.414×10[μm]≤W3

≤－3.367×10×η²+7.112×10×η－2.352×10[μm]。

2.根据权利要求1所述的振动元件，其特征在于，

在设所述臂部的沿着所述第2方向的宽度为W1，所述施重部的沿着所述第2方向的宽度为W2时，满足1.6≤W2/W1≤7.0。

3.根据权利要求1所述的振动元件，其特征在于，

所述T为50μm≤T≤140μm。

4.根据权利要求1所述的振动元件，其特征在于，

所述T为110μm≤T≤140μm。

5.根据权利要求1～4中的任意一项所述的振动元件，其特征在于，

在设所述振动臂的沿着所述第1方向的长度为L，所述施重部的沿着所述第1方向的长度为H时，满足0.183＜H/L＜0.597。

6.根据权利要求1～4中的任意一项所述的振动元件，其特征在于，

在设所述振动臂的沿着所述第1方向的长度为L，所述施重部的沿着所述第1方向的长度为H时，满足0.012＜H/L＜0.30。

7.一种振子，其特征在于，该振子包含：

权利要求1～4中的任意一项所述的振动元件；以及

收纳有所述振动元件的封装。

8.一种振荡器，其特征在于，该振荡器具有：

权利要求1～4中的任意一项所述的振动元件；以及

与所述振动元件电连接的振荡电路。

9.一种电子设备，其特征在于，该电子设备具有权利要求1～4中的任意一项所述的振动元件。

10.一种移动体，其特征在于，该移动体具有权利要求1～4中的任意一项所述的振动元件。