[发明专利]振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体

说明书

本发明提供振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体，振动元件实现了超小型，振子、振荡器、电子设备以及移动体具有该振动元件。振动元件(2)具有石英振动片(3)，该石英振动片(3)具有：基部(4)；以及一对振动臂(5、6)，它们与基部(4)一体地设置，在X轴方向上并排且从基部(4)起沿Y’轴方向延伸，振动臂(5、6)包含：臂部(51、61)；以及锤头(59、69)，其位于该臂部(51、61)的末端侧，且沿着X轴方向的长度比臂部(51、61)长，在设振动臂(5、6)的厚度为T，锤头(59、69)彼此的沿着X轴方向的相隔距离为W4时，满足0.033T＜W4＜0.330T[μm]的关系。

技术领域

本发明涉及振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体。

背景技术

一直以来，公知有使用了石英的振动元件。这样的振动元件由于频率温度特性优异，因此被广泛用作各种电子设备的基准频率源和信号源等。

专利文献1中记载的振动元件呈音叉型，具有基部和从基部起延伸的一对振动臂。

在使用光刻技术形成上述结构的振动元件时，在专利文献1中提出了如下技术：将一对振动臂之间的相隔距离设定为50～370μm，由此实现所形成的振动元件的小型化。

但是，可知通过设定上述范围内的相隔距离，不足以满足振动元件的进一步小型化。

【专利文献1】日本特开2005-39767号公报

发明内容

本发明的目的在于提供一种能够实现进一步小型化的振动元件，以及具有该振动元件的振子、振荡器、电子设备以及移动体。

本发明正是为了解决上述课题的至少一部分而完成的，可作为以下应用例来实现。

[应用例1]

本发明的振动元件的特征在于，

在设相互垂直的方向为第1方向和第2方向时，该振动元件包含：

基部；以及

一对振动臂，它们在俯视时从所述基部起沿着所述第1方向延伸，包含施重部和配置于所述基部与所述施重部之间的臂部，在所述第2方向上并排配置，

在设所述振动臂的厚度为T，所述施重部彼此的沿着所述第2方向的相隔距离为W4时，满足0.033T＜W4＜0.330T[μm]的关系。

由此，能够实现振动元件的小型化。

[应用例2]

在本发明的振动元件中，优选的是，所述T为50μm≤T≤140μm。

由此，能够得到Q值高的石英振动片。

[应用例3]

在本发明的振动元件中，优选的是，所述T为110μm≤T≤140μm。

由此，能够得到等效串联电阻低的石英振动片。

[应用例4]

在本发明的振动元件中，优选的是，在设所述振动臂的沿着所述第1方向的长度为L，所述施重部的沿着所述第1方向的长度为H时，满足0.183＜H/L＜0.597的关系。

由此，能够得到同时确保进一步小型化和Q值提高的振动元件。

[应用例5]

在本发明的振动元件中，优选的是，在设所述振动臂的沿着所述第1方向的长度为L，所述施重部的沿着所述第1方向的长度为H时，满足0.012＜H/L＜0.30的关系。

由此，振动元件的等效串联电阻减小，因此能够得到具有振动损失小的振动特性的振动元件。