[发明专利]带编码光罩子版制造方法

权利要求书

1.一种带编码光罩子版制造方法，其包括如下步骤：

提供光罩母版，在母版上形成光罩图案；

在一个透光片上制作条码，将透光片置于光罩母版非图案的边缘；

选取具有光刻胶层的子版版材，将光罩母版置于子版版材上，并使光罩图案面对于光刻胶层；

将放置好的透光片、光罩母版及子版版材进行曝光，显影，蚀刻，在子版版材上形成所需编码，制得所需光罩子版。

2.如权利要求1所述的带编码光罩子版制造方法，其特征在于，所述透光片长度宽于光罩母版或子版版材6-10mm。

3.如权利要求1所述的带编码光罩子版制造方法，其特征在于，所述透光片长边方向两端分别突出于光罩母版或子版版材3-8mm。

4.如权利要求1所述的带编码光罩子版制造方法，其特征在于，所述透光片放置时使条码面对光罩母版，所述透光片制作的条码图案与所需光罩子版的编码图案相反。

5.如权利要求1所述的带编码光罩子版制造方法，其特征在于，所述透光片的透光率在80%以上，所述透光片的厚度为0.1-0.8mm。

6.如权利要求1所述的带编码光罩子版制造方法，其特征在于，所述子版版材包括基底、基底上的铬层，所述光刻胶层形成于所述铬层上。

7.如权利要求1所述的带编码光罩子版制造方法，其特征在于，所述条码为数字编码、字母编码或数字与字母组合编码或条形码。

8.如权利要求1所述的带编码光罩子版制造方法，其特征在于，所述透光片制作条码及其放置于光罩母版的步骤与选取具有光刻胶层的子版版材及其放置于光罩母版的步骤同时进行或不分先后地进行。

9.如权利要求1所述的带编码光罩子版制造方法，其特征在于，所述曝光光源为汞灯，所述透光片为菲林片。

10.如权利要求1所述的带编码光罩子版制造方法，其特征在于，所述透光片和子版版材分别以层叠方式设于光罩母版沿曝光光线方向上的两侧。