[发明专利]带编码光罩子版制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及光罩技术领域，具体涉及一种带编码光罩子版制造方法。 

背景技术

随着现如今电子产业的高速发展，光罩应用也随之扩大，目前光罩在TP、LED、IC等制造行业中应用广泛，也是各行业必不可少的重要模具之一。传统的光罩制作过程如下：在以苏打玻璃或石英玻璃为基材，在其表面上镀一层铬（Cr）层形成遮光层，再在铬层上面镀一层氧化铬层，最后在氧化铬层表面涂覆一层感光胶；使用软件控制曝光装置对其进行电子束曝光或激光曝光；再通过化学反应，即通过化学药液对感光胶及部分铬层去除从而形成设计者所需的图形图案，将图形图案铬印在玻璃基版上即成为光罩。 

光罩又分为光刻板和子版，光刻板是指通过电子束光刻或激光光刻所制作出来的光罩，其优点在于图形图案可以通过设计者随意变化，但制作的时间较长。子版是指通过光源将光刻板的图形图案复制到另外一张版上所形成的光罩。其优点在于制作时间非常短，但图形图案较单一，只能与提供的光刻板上的图形图案一模一样，且效果相反。 

一般光罩上所铬印的图形图案大小为微米或纳米级别，在光罩较多时，特别是图形图案都一模一样时，肉眼一般第一时间很难准确分辨并找出那个光罩是自己所需的，为了快速的分辨光罩，我们会在制作光罩时，通过电子束光刻或激光光刻方式，在光罩边缘加一些由汉字和英文字母组成的文件名，或在光罩边缘加一些条码，英文为Bar code，记录光罩所运用的领域和制作时间等信息，以便于区分光罩。但在子版制作时，一张光刻版（后面称之为母版）最多可以复制100多张子版，因子版的图形图案及文件名都是一模一样的，使用者很难有效地区分，在产线上也就会或多或少的带来一些麻烦。因为技术方面的限制，在制作子版时，传统的方法有：1、不添加条码，此方法不能有效地区分子版；2、通过手写的方式，在子版光刻后显影前用尖锐的铁针在子版边缘写上编码，以便区分。手写方法能够实现区分子版的目的，但存在一些不足， 如显影前因不能有效地区分图形区和非图形区，手写编码时很容易将编码写到图形区内，导致报废。 

发明内容

有鉴于此，提供一种安全性高、操作性强的带编码光罩子版制造方法，以方便区分和管理光罩子版。 

一种带编码光罩子版制造方法，其包括如下步骤： 

提供光罩母版，在母版上形成光罩图案；

在一个透光片上制作条码，将透光片置于光罩母版非图案的边缘，并使条码面对光罩母版；

选取具有光刻胶层的子版版材，将光罩母版置于子版版材上，并使光罩图案面对于光刻胶层；

将放置好的透光片、光罩母版及子版版材进行曝光，显影，蚀刻，在子版版材上形成所需编码，制得所需光罩子版。

与现有技术相比，上述带编码光罩子版制造方法至少具有以下益处： 

1. 通过上述方法给子板添加编码，方便了在子板图形图案和文件名相同时，更有效的进行区分；

2. 通过上述方法给子板添加编码，安全性高，避免了子板的报废；

3. 通过上述方法添加的编码较清晰、美观，且可通过扫码器进行扫码记录，更方便使用者进行统一区分和管理；

4. 透光片的条码可以根据需要任意设置，而且，可通过更换透光片的方法来更换子版编码，从而制作不同编码的光罩子版，极大地提升了子版编码化的操作性，避免了传统工艺的繁琐与复杂。

附图说明

图1是本发明实施例提供的带编码光罩子版制造方法流程结构示意图。 

具体实施方式

以下将结合具体实施例和附图对本发明进行详细说明。 

本发明实施例的带编码光罩子版制造方法借助透光片，将透光片上的条码转移到光罩子版，对光罩子版进行编码，便于区分和管理。以下结合图1说明该方法，具体包括如下步骤： 

S01：提供光罩母版10，在母版10上形成光罩图案11；

S02：在一个透光片20上制作条码，将透光片20置于光罩母版10非图案的边缘，并使条码面对光罩母版10；

S03：选取具有光刻胶层33的子版版材30，将光罩母版10置于子版版材30上；

S04：将放置好的透光片20、光罩母版10及子版版材30进行曝光，显影，蚀刻，在子版版材30形成所需编码12，制得所需光罩子版10a。