[发明专利]膜片式压电驱动器缺陷检测方法

权利要求书

1.一种膜片式压电驱动器缺陷检测方法，其特征在于，包括如下 步骤：

步骤1、将压电陶瓷片的正负电极分别连接到幅频特性测试检测设备， 输出幅频特性曲线，通过判断幅频特性上的毛刺，确定该压电陶瓷片内 部有无缺陷；

如果幅频特性曲线上有毛刺，则认为有缺陷，剔除该压电陶瓷片，反之， 则认为没有内部缺陷；

步骤2：将没有内部缺陷的两个压电陶瓷片和基底材料通过焊接或胶粘 连接在一起形成压电驱动器，其中，该基底材料设置在两个压电陶瓷片 之间；

步骤3：分别引出两个压电陶瓷片的正极连接线和负极连接线，并分别 连接到幅频特性测试检测设备，并输出两个压电陶瓷片各自幅频特性曲 线；

步骤4、任何一个压电陶瓷片的幅频特性曲线出现毛刺时，认为存在连 接层缺陷，则剔除整个驱动器，只有当两个压电陶瓷片的幅频特性曲线 均无毛刺时，则认为没有缺陷。

2.根据权利要求1所述的膜片式压电驱动器缺陷检测方法，其特征 在于，所述毛刺为幅频特性曲线的斜率在除谐振点、反谐振点外，曲线 切线斜率从正值突变为负值或由负值突变为正值的区域。