[发明专利]翻转装置、基板对盒系统及基板对盒方法

权利要求书

1.一种翻转装置，其包括：固定支架，以及与固定支架通过竖直旋转轴连接的翻转平台，其特征在于，所述翻转平台具有相对设置用于吸附基板的第一吸附面和第二吸附面；

所述翻转装置还包括分别用于驱动第一吸附面和第二吸附面在水平方向上发生旋转的第一水平旋转轴和第二水平旋转轴，真空吸附单元以及控制单元，所述控制单元用于控制真空吸附单元通过所述第一吸附面或所述第二吸附面吸附基板，所述翻转平台通过竖直旋转轴翻转被吸附的基板；

在所述第一吸附面和第二吸附面上均设置有对位摄像头，该摄像头用于采集第一吸附面上或者第二吸附面上的所吸附的基板的位置，从而将该位置信息发送给控制单元，以便该控制单元将被吸附的基板与其将要对盒的对盒基板的位置进行比较，从而通过第一水平旋转轴或者第二水平旋转轴旋转吸附在对应吸附面上的基板，进而使得被吸附的基板与其将要对盒的对盒基板进行预对位。

2.根据权利要求1所述的翻转装置，其特征在于，所述第一吸附面和所述第二吸附面上均设置有多个成矩阵排列的吸附柱，所述吸附柱内部为中空。

3.根据权利要求2所述的翻转装置，其特征在于，在所述吸附柱的开口端上连接有阻尼弹簧，在所述阻尼弹簧上连接有真空吸盘。

4.根据权利要求2或3所述的翻转装置，其特征在于，所述真空吸附单元包括：第一气管、第二气管、气体控制阀，气体压缩单元；

所述第一气管和第二气管均包括多个连通并延伸至吸附柱中的分支，且所述第一气管和第二气管在进气口端连通；

所述气体控制阀一端与所述第一气管和第二气管的进气口连接，另一端与气体压缩单元连接，用于在所述控制单元的控制下，控制所述第一气管和第二气管的开启与关断；

所述气体压缩单元用于在控制单元的控制下控制气体的通入与排出。

5.根据权利要求4所述的翻转装置，其特征在于，所述真空吸附单元还包括：压力计，所述压力计设于气体控制阀与所述进气口端之间。

6.根据权利要求1所述的翻转装置，其特征在于，在所述第一吸附面和在所述第二吸附面的边缘区域上均设置有用于夹持基板的对位夹。

7.根据权利要求1所述的翻转装置，其特征在于，在所述第一吸附面和第二吸附面上均设置有基板感应传感器。

8.一种基板对盒系统，其特征在于，所述基板对盒系统包括权利要求1至7中任意一项所述的翻转装置。

9.根据权利要求8所述的基板对盒系统，其特征在于，所述基板对盒系统还包括：承载有对盒基板的对位装置。

10.一种基板对盒方法，其特征在于，包括如下步骤：

通过翻转装置的第一吸附面或第二吸附面吸附一基板，并将该基板翻转至朝向对位装置的承载对盒基板的对位平台上方；

检测翻转装置的第一吸附面或第二吸附面所吸附的基板与对位平台上所承载的对盒基板的位置关系，并将被吸附的基板与对盒基板对位；

将被吸附的基板与对盒基板对盒，再次检测被吸附的基板与对盒基板的位置关系，并将被吸附的基板与对盒基板对位；

当基板在对盒之后出现固定位置不良时，将吸附在吸附面上的基板进行水平旋转；其中，在所述第一吸附面和第二吸附面上均设置有对位摄像头，该摄像头用于采集第一吸附面上或者第二吸附面上的所吸附的基板的位置，从而将该位置信息发送给控制单元，以便该控制单元将被吸附的基板与其将要对盒的对盒基板的位置进行比较，从而通过第一水平旋转轴或者第二水平旋转轴旋转吸附在对应吸附面上的基板，进而使得被吸附的基板与其将要对盒的对盒基板进行预对位。