[发明专利]表面轮廓的测量装置

权利要求书

1.一种表面轮廓的测量装置，其特征在于，所述表面轮廓的测量装置包括用于承载被测量工件或测量工件夹具的平台、安装于所述平台上的支撑组件、活动安装于所述支撑组件上的运动装置、安装于所述运动装置上的测量部件、安装于所述支撑组件上用于驱动所述运动装置运动的驱动装置、连接所述驱动装置与所述运动装置的连接装置、及设于所述驱动装置与所述运动装置之间的气流限制构件，所述气流限制构件用于阻止气流由所述驱动装置流动至所述运动装置、测量部件及被测量工件。

2.如权利要求1所述的表面轮廓的测量装置，其特征在于，所述支撑组件与所述平台之间形成一U形开口，所述U形开口远离所述驱动装置设置，所述被测量工件固定安装于所述U形开口内，所述测量部件悬设于所述测量工件上。

3.如权利要求1所述的表面轮廓的测量装置，其特征在于，所述运动装置包括导向机构，所述导向机构包括导轨，所述支撑组件于被测量工件上方开有一个U形槽或矩形孔，所述导轨安装在U形槽或矩形孔的两边；所述测量部件在运动时使用所述U形槽或矩形孔所属的空间。

4.如权利要求3所述的表面轮廓的测量装置，其特征在于，所述的导轨是带有滚动组件的导轨，该滚动组件带有位置同步装置。

5.如权利要求4所述的表面轮廓的测量装置，其特征在于，所述位置同步装置包括齿条、与所述齿条相适配的齿轮，以使所述滚动组件在从初始位置开始多次滚动后回到初始位置时，所述滚动组件相对于支撑组件的位置不变。

6.如权利要求1所述的表面轮廓的测量装置，其特征在于，所述气流限制构件包括隔板，所述隔板设于所述驱动装置与所述运动装置之间，所述隔板上设有用于避让所述连接装置的避让部，所述连接装置贯穿所述避让部，且在活动时可使用避让部所属的空间。

7.如权利要求1所述的表面轮廓的测量装置，其特征在于，所述表面轮廓的测量装置测量时，测量部件移动而被测量工件保持静止。

8.如权利要求1所述的表面轮廓的测量装置，其特征在于，所述测量部件为非接触式位置传感器。

9.如权利要求1所述的表面轮廓的测量装置，其特征在于，所述表面轮廓的测量部件上对应所述驱动装置设有气流通道，用于疏散所述驱动装置产生的气流，所述气流通道避开所述运动装置、测量部件及被测量工件设置。

10.如权利要求1所述的表面轮廓的测量装置，其特征在于，所述驱动装置为直线电机。