[发明专利]表面轮廓的测量装置

说明书

技术领域

本发明涉及表面轮廓测量领域，尤其涉及一种表面轮廓的测量装置。

背景技术

现有测量装置一般是通过马达驱动载物台，以实现对被测量工件的表面轮廓的测量。然而这种结构的存在以下缺点：

1、被测量工件移动，会产生气流，对于一些较轻或柔软的物体气流会引起震动和变形；

2、被测量工件移动，当被测量工件和载物台接触面不共面时，会引起晃动；

3、马达离载物台近，震动直接传递到样品，发热直接传递到载物台引起热胀冷缩；

4、马达的发热还会引起热气流，流向支撑部件和位置传感器，造成热胀冷缩；

5、对于光学非接触的位置传感器来说，热气流还会引起空气密度的改变和扰动，造成空气折射率变化从而引起读数偏差或波动；

6、载物台移动，如果被测量工件比较重还会引发重心偏移造成被测量工件偏摆；

7、马达如果通过丝杆连接载物台，丝杆的旋转扭动和动不平衡也会引发震动。

由于上述缺陷的存在，导致现有的测量装置的测量误差较大，精度较低。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种表面轮廓的测量装置，旨在解决现有的测量装置精度相对较低的技术问题。

为实现上述目的，本发明提供一种表面轮廓的测量装置，所述表面轮廓的测量装置包括用于承载被测量工件或测量工件夹具的平台、安装于所述平台上的支撑组件、活动安装于所述支撑组件上的运动装置、安装于所述运动装置上的测量部件、安装于所述支撑组件上用于驱动所述运动装置运动的驱动装置、连接所述驱动装置与所述运动装置的连接装置、及设于所述驱动装置与所述运动装置之间的气流限制构件，所述气流限制构件用于阻止气流由所述驱动装置流动至所述运动装置、测量部件及被测量工件。

优选地，所述支撑组件与所述平台之间形成一U形开口，所述U形开口远离所述驱动装置设置，所述被测量工件固定安装于所述U形开口内，所述测量部件悬设于所述测量工件上。

优选地，所述运动装置包括导向机构，所述导向机构包括导轨、所述支撑组件于被测量工件上方开有一个U形槽或矩形孔，所述导轨安装在U形槽或矩形孔的两边；所述测量部件在运动时使用所述U形槽或矩形孔所属的空间。

优选地，所述的导轨是带有滚动组件的导轨，该滚动组件带有位置同步装置。

优选地，所述位置同步装置包括齿条、与所述齿条相适配的齿轮，以使所述滚动组件在从初始位置开始多次滚动后回到初始位置时，所述滚动组件相对于支撑组件的位置不变。

优选地，所述气流限制构件包括隔板，所述隔板设于所述驱动装置与所述运动装置之间，所述隔板上设有用于避让所述连接装置的避让部，所述连接装置贯穿所述避让部，且在活动时可使用避让部所属的空间。

优选地，所述表面轮廓的测量装置测量时，测量部件移动而被测量工件保持静止。

优选地，所述测量部件为非接触式位置传感器。

优选地，所述表面轮廓的测量部件上对应所述驱动装置设有气流通道，用于疏散所述驱动装置产生的气流，所述气流通道避开所述运动装置、测量部件及被测量工件设置。

优选地，所述驱动装置为直线电机。

本发明的表面轮廓的测量装置，通过在运动装置与驱动装置之间设置气流限制构件，有效降低了气流由驱动装置流动至运动装置、测量部件及被测量工件的可能性，测量时被测量工件保持不动，进而有效避免了在测量过程中，由于气流的影响而导致的测量误差，进而有效保证了测量的精度。

附图说明

图1为本发明表面轮廓的测量装置的立体结构示意图；

图2为本发明表面轮廓的测量装置的导向机构立体结构示意图。

本发明目的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。

具体实施方式

应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。