[发明专利]大理石高精密运动平台

权利要求书

1.大理石高精密运动平台，其特征在于：包含X轴运动平台、Y轴运动平台和θ轴运动平台，所述X轴运动平台包含X轴大理石底座、X轴直线导轨、X轴连接板和控制X轴连接板运动的X轴直线电机，X轴直线导轨和X轴直线电机安装于X轴大理石底座上，X轴连接板置于X轴直线导轨上，X轴直线电机与X轴连接板驱动连接，从而控制X轴连接板沿X轴直线导轨运动；

所述Y轴运动平台包含Y轴大理石底座、Y轴直线导轨、Y轴连接板和控制Y轴连接板运动的Y轴直线电机，Y轴直线导轨和Y轴直线电机安装于Y轴大理石底座上，Y轴连接板置于Y轴直线导轨上，Y轴直线电机与Y轴连接板驱动连接，从而控制Y轴连接板沿Y轴直线导轨运动；所述Y轴大理石底座连接于X轴连接板上，Y轴直线导轨与X轴直线导轨呈90度夹角；

所述θ轴运动平台包含旋转DD马达和石英载台，石英载台安装于旋转DD马达上，旋转DD马达安装于Y轴连接板上；

所述石英载台包含载台板、载台安装板、载台连接板、载台固定板和旋转平台连接板，载台板置于载台安装板的内孔中，载台安装板通过载台连接板与载台固定板相连接，载台固定板连接固定于旋转平台连接板上，旋转平台连接板安装于旋转DD马达的旋转轴上，所述载台连接板设有径向孔以及与其相通的轴向孔，载台安装板上设有与载台连接板上轴向孔相连通的轴向台阶孔以及所述轴向台阶孔相连通的径向沟槽，载台安装板的内孔壁设有与径向沟槽相通的弧形槽，载台板上表面设有与弧形槽相通的发射状沟槽。

2.根据权利要求1所述的大理石高精密运动平台，其特征在于：所述X轴大理石底座上安装有X轴光栅尺，Y轴大理石底座上安装有Y轴光栅尺。

3.根据权利要求1所述的大理石高精密运动平台，其特征在于：所述X轴大理石底座上安装有两X轴限位缓冲器，分别位于X轴直线导轨的两端部；Y轴大理石底座上安装有两Y轴限位缓冲器，分别位于Y轴直线导轨的两端部。

4.根据权利要求1所述的大理石高精密运动平台，其特征在于：所述Y轴大理石底座通过螺钉连接于X轴连接板上。

5.根据权利要求1所述的大理石高精密运动平台，其特征在于：所述载台连接板与载台安装板配合的端面设有环形密封槽，环形密封槽中内嵌有环形密封圈。