[发明专利]大理石高精密运动平台

说明书

技术领域

本发明涉及一种大理石高精密运动平台。

背景技术

随着LED切割市场对于切深控制的要求，特别是对于高端LED芯片而言，激光在晶圆内部的切深精度控制会直接影响其IR等问题。而且随着四寸晶圆以及六寸晶圆的逐步量产，本身晶圆的片厚误差也无法很好的保证。具有高精密运动控制的X-Y运动平台的需求也就应运而生。目前市场上已经有一部分高精密X-Y运动平台的供应，主要是欧美国家制造。售价一般在30万人民币以上。运动平台是LED设备的核心部件，对于设备的成本控制来说，压力太大。

综上所述，高精密X-Y运动平台的自主研发的意义重大，对于设备的整体竞争力来说，具有较高价值。

发明内容

本发明的目的是克服现有技术存在的不足，提供一种大理石高精密X-Y运动平台。

本发明的目的通过以下技术方案来实现：

大理石高精密运动平台，特点是：包含X轴运动平台、Y轴运动平台和θ轴运动平台，所述X轴运动平台包含X轴大理石底座、X轴直线导轨、X轴连接板和控制X轴连接板运动的X轴直线电机，X轴直线导轨和X轴直线电机安装于X轴大理石底座上，X轴连接板置于X轴直线导轨上，X轴直线电机与X轴连接板驱动连接，从而控制X轴连接板沿X轴直线导轨运动；

所述Y轴运动平台包含Y轴大理石底座、Y轴直线导轨、Y轴连接板和控制Y轴连接板运动的Y轴直线电机，Y轴直线导轨和Y轴直线电机安装于Y轴大理石底座上，Y轴连接板置于Y轴直线导轨上，Y轴直线电机与Y轴连接板驱动连接，从而控制Y轴连接板沿Y轴直线导轨运动；所述Y轴大理石底座连接于X轴连接板上，Y轴直线导轨与X轴直线导轨呈90度夹角；

所述θ轴运动平台包含旋转DD马达和石英载台，石英载台安装于旋转DD马达上，旋转DD马达安装于Y轴连接板上；

所述石英载台包含载台板、载台安装板、载台连接板、载台固定板和旋转平台连接板，载台板置于载台安装板的内孔中，载台安装板通过载台连接板与载台固定板相连接，载台固定板连接固定于旋转平台连接板上，旋转平台连接板安装于旋转DD马达的旋转轴上，所述载台连接板设有径向孔以及与其相通的轴向孔，载台安装板上设有与载台连接板上轴向孔相连通的轴向台阶孔以及所述轴向台阶孔相连通的径向沟槽，载台安装板的内孔壁设有与径向沟槽相通的弧形槽，载台板上表面设有与弧形槽相通的发射状沟槽。

进一步地，上述的大理石高精密运动平台，其中，所述X轴大理石底座上安装有X轴光栅尺，Y轴大理石底座上安装有Y轴光栅尺。

更进一步地，上述的大理石高精密运动平台，其中，所述X轴大理石底座上安装有两X轴限位缓冲器，分别位于X轴直线导轨的两端部；Y轴大理石底座上安装有两Y轴限位缓冲器，分别位于Y轴直线导轨的两端部。

更进一步地，上述的大理石高精密运动平台，其中，所述Y轴大理石底座通过螺钉连接于X轴连接板上。

再进一步地，上述的大理石高精密运动平台，其中，所述载台连接板与载台安装板配合的端面设有环形密封槽，环形密封槽中内嵌有环形密封圈。

本发明技术方案突出的实质性特点和显著的进步主要体现在：

①本发明采用大理石底座，其吸振性远优于金属加工件，保证平台在高速运动时的平稳性及较低的震荡，从而满足平台的运动平面度0.005mm的要求；由于大理石底座加工完后不会有应力释放，比较容易满足导轨面平面度的指标；

②真空吸附结构实现数个点同时产生真空负压，使得产品的受力更加均匀，从而使产品被紧紧吸附住的同时又保证在加工过程中不会移动；

③直线驱动系统取消了由于丝杠等机械机构产生的传动间隙和误差，减少了插补运动时因传动系统滞后带来的跟踪误差，通过直线位置检测反馈控制，大大提高平台的定位精度；

④由于“直接驱动”，避免了启动、变速和换向时因中间传动环节的弹性变形、摩擦磨损和反向间隙造成的运动滞后现象，提高了其传动刚度；

⑤运动安静、噪音低，X-Y轴平台可拆分，单独作为一套直线运动模组，也可以与其它直线平台自由组合构成另一种X-Y运动平台，配对方便，达到模块化设计要求。

附图说明

下面结合附图对本发明技术方案作进一步说明：

图1：本发明的结构示意图；

图2：θ轴运动平台的剖视示意图；

图3：θ轴运动平台的俯视示意图。

具体实施方式