[发明专利]一种真空机台的真空反应腔及真空机台在审
| 申请号： | 201410662413.6 | 申请日： | 2014-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN104375292A | 公开（公告）日： | 2015-02-25 |
| 发明（设计）人： | 刘思洋 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空 机台 反应 | ||
1.一种真空机台的真空反应腔，其特征在于，包括：
反应腔体，包括由四侧壁、一顶壁以及一底壁构成的一容纳空间；
承载基板，设置在所述反应腔体的所述底壁的中部，用于承载待处理基板；以及
观测窗，设置在所述反应腔体的所述侧壁上，用于观测所述反应腔体内的所述容纳空间；
其中所述观测窗包括用于观测操作的透明观测玻璃，以及用于扩大所述透明观测玻璃的观测视角的视角扩大部件。
2.根据权利要求1所述的真空机台的真空反应腔，其特征在于，所述真空反应腔包括第一观测窗和第二观测窗，所述第一观测窗和所述第二观测窗分别设置在所述反应腔体的相对的两个侧壁上。
3.根据权利要求1所述的真空机台的真空反应腔，其特征在于，所述真空反应腔包括第一观测窗、第二观测窗以及第三观测窗，所述第一观测窗、所述第二观测窗以及所述第三观测窗分别设置在所述反应腔体的三个侧壁上。
4.根据权利要求1所述的真空机台的真空反应腔，其特征在于，所述视角扩大部件包括第一凸透镜以及第二凸透镜，所述第一凸透镜和第二凸透镜的主光轴重合，第一凸透镜的右焦点和第二凸透镜的左焦点重合。
5.根据权利要求1所述的真空机台的真空反应腔，其特征在于，所述视角扩大部件可相对所述透明观测玻璃前后移动。
6.根据权利要求1所述的真空机台的真空反应腔，其特征在于，所述视角扩大部件可拆卸的设置在所述反应腔体的所述侧壁上。
7.一种真空机台，其特征在于，包括真空反应腔以及反应操作装置；其中所述真空反应腔包括：
反应腔体，包括由四侧壁、一顶壁以及一底壁构成的一容纳空间；
承载基板，设置在所述反应腔体的所述底壁的中部，用于承载待处理基板；以及
观测窗，设置在所述反应腔体的所述侧壁上，用于观测所述反应腔体内的所述容纳空间；
其中所述观测窗包括用于观测操作的透明观测玻璃，以及用于扩大所述透明观测玻璃的观测视角的视角扩大部件。
8.根据权利要求7所述的真空机台，其特征在于，所述真空反应腔包括第一观测窗、第二观测窗以及第三观测窗，所述第一观测窗、所述第二观测窗以及所述第三观测窗分别设置在所述反应腔体的三个侧壁上。
9.根据权利要求7所述的真空机台，其特征在于，所述视角扩大部件包括第一凸透镜以及第二凸透镜，所述第一凸透镜和第二凸透镜的主光轴重合，第一凸透镜的右焦点和第二凸透镜的左焦点重合。
10.根据权利要求7所述的真空机台，其特征在于，所述视角扩大部件可拆卸的设置在所述反应腔体的所述侧壁上；所述视角扩大部件可相对所述透明观测玻璃前后移动。
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