[发明专利]面板入料检验装置在审
| 申请号： | 201410677364.3 | 申请日： | 2014-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN104465438A | 公开（公告）日： | 2015-03-25 |
| 发明（设计）人： | 蔡瑜;于宗亚;董宁;袁斌 | 申请（专利权）人： | 业成光电（深圳）有限公司;英特盛科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 胡海国 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市龙华新*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 面板 检验 装置 | ||
1.一种面板入料检验装置，其特征在于，包括：
一进料处，放置至少一面板；
一机械手臂，其底部设有一吸盘机构，从该进料处吸取该面板；
一灯箱，提供一光源，该机械手臂移动至该灯箱上使该光源照射该面板，且该灯箱可翻转以利检测；以及
一收料处，放置检测完毕之该面板。
2.如权利要求1所述之面板入料检验装置，其特征在于，更包括一组横向轨道及一组纵向轨道，该横向轨道与该纵向轨道垂直相接，该机械手臂悬挂于该横向轨道与该纵向轨道下方移动。
3.如权利要求2所述之面板入料检验装置，其特征在于，该进料处及该收料处设于该纵向轨道下方。
4.如权利要求2所述之面板入料检验装置，其特征在于，该灯箱设于该横向轨道下方。
5.如权利要求1所述之面板入料检验装置，其特征在于，该吸盘机构包括复数吸嘴。
6.如权利要求1所述之面板入料检验装置，其特征在于，该灯箱更包括一翻转机构，其设于该灯箱之侧边，将该灯箱在一角度内前后旋转。
7.如权利要求6所述之面板入料检验装置，其特征在于，该光源包括复数发光二极管。
8.如权利要求2所述之面板入料检验装置，其特征在于，该纵向轨道是利用一第一马达驱动，以在该横向轨道上移动。
9.如权利要求1所述之面板入料检验装置，其特征在于，该机械手臂是利用一第二马达驱动上下升降。
10.如权利要求6所述之面板入料检验装置，其特征在于，该翻转机构是利用一第三马达驱动翻转。
11.如权利要求6所述之面板入料检验装置，其特征在于，该灯箱之翻转角度为0～90度。
12.如权利要求1所述之面板入料检验装置，其特征在于，该吸盘机构之厚度为至少3毫米。
13.如权利要求5所述之面板入料检验装置，其特征在于，该吸盘机构上之该等吸嘴数目为100个。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
