[发明专利]形状可变镜以及激光加工装置

权利要求书

1.一种形状可变镜，其特征在于，

具有：

反射镜；

第一按压部件，其与所述反射镜的反射面外周部的相对的2个部位接触，从所述反射面侧按压所述反射镜；

第二按压部件，其与所述反射镜的背面外周部的相对的2个部位接触，从所述背面侧按压所述反射镜；以及

变形量调整部，其以所述第一按压部件按压所述反射面的位置、和所述第二按压部件按压所述背面的位置，绕穿过所述反射面的中心的轴而成为不同的位置的方式，对所述第二按压部件相对于所述第一按压部件的绕所述轴的位置进行定位，并且使所述轴向上的所述第一按压部件和所述第二按压部件的间隔变化，对由所述按压引起的所述反射镜的变形量进行调整。

2.根据权利要求1所述的形状可变镜，其特征在于，

所述第二按压部件构成为，在板材的周缘部的2个部位形成有与所述背面接触的凸起，且所述板材的刚性比所述反射镜的刚性低。

3.根据权利要求1或2所述的形状可变镜，其特征在于，

所述变形量调整部利用螺纹部件，使所述间隔变化，其中，所述螺纹部件在所述轴向的两侧分别设置有彼此螺距不同的螺纹。

4.根据权利要求3所述的形状可变镜，其特征在于，

在所述变形量调整部形成有将所述螺纹部件的旋转锁止的锁止机构。

5.根据权利要求3所述的形状可变镜，其特征在于，

在所述变形量调整部设置有止转机构，在所述间隔变为小于或等于规定间隔时，该止转机构使所述螺纹部件的旋转停止。

6.根据权利要求4所述的形状可变镜，其特征在于，

在所述变形量调整部设置有止转机构，在所述间隔变为小于或等于规定间隔时，该止转机构使所述螺纹部件的旋转停止。

7.根据权利要求1或2所述的形状可变镜，其特征在于，

在所述第一按压部件形成有锁止机构，该锁止机构从与所述反射镜的外周部相对应的位置，在径向上对所述反射镜进行固定。

8.一种激光加工装置，其特征在于，

具有：

激光振荡器，其振荡产生激光束；

设置台，其用于设置被加工物；以及

传输光路，其具有多个反射镜，将由所述激光振荡器振荡出的激光束传输至设置于所述设置台的被加工物，

对所述多个反射镜中的某一个，使用权利要求1或者2所述的形状可变镜。

9.根据权利要求8所述的激光加工装置，其特征在于，

所述反射面包含圆，该圆相对于由所述激光振荡器振荡出的激光束的长轴方向的半径具有倍的半径，

所述第一按压部件与所述反射面接触的接触面被收容于正方形内，该正方形具有长度相对于所述长轴方向的半径为0.23倍的边。