[发明专利]形状可变镜以及激光加工装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于对激光束等光波的波阵面畸变、特别是像散进行校正的形状可变镜以及利用形状可变镜的激光加工装置。

背景技术

形状可变镜对光波的波阵面畸变进行校正，使用在各种光学制品中。例如，在天文望远镜中，用于对由大气运动等引起的波阵面的畸变(像差)进行校正，改善图像质量(例如，参照专利文献1后半部)。另外，在CD、DVD等的光拾取部中，用于对由光盘面的倾斜、起伏等产生的像差进行校正(例如，参照专利文献2)。并且，在激光加工机中，用于对由透镜、反射镜等的变形引起的激光束的波阵面畸变进行校正，以得到圆度高且光斑直径小的激光束(例如，参照专利文献1后半部)。

如上所述的形状可变镜均是通过多个驱动元件的驱动，由此使镜面变化为希望的形状。然而，利用多个驱动元件这一点导致构造变得复杂，并且控制也变得复杂。因此，例如提出有下述形状可变镜，即，如激光加工机那样，也具有仅对光波的像散进行校正即可的用途，对于上述用途，利用1个驱动元件，使镜面变形为鞍形(例如，参照专利文献3)。

专利文献1：日本特开平7-66463号公报(0007～0009、图1～图2/第0019～0012段、图6～图7)

专利文献2：日本特开2005-122878号公报(第0028～0033段、图1)

专利文献3：日本特开2007-171703号公报(第0012～0015段、图1～图2)

如上所述的形状可变镜构成为，即使在如专利文献3所示变形为简单的鞍形的情况下，也是将用于使反射镜变形的部件的至少一部分与镜面的背面侧粘接，从背面侧拉拽镜面。然而，在上述结构中，例如，在反射镜使用玻璃圆板基板、不能使用粘接材料等的环境下，仅能够从镜面的背面侧向进行按压的方向施加力，难以使反射镜变形为希望的形状。

发明内容

本发明的目的在于得到一种不受针对反射镜的粘接的制约，能够对像散进行校正的形状可变镜以及激光加工装置。

本发明所涉及的形状可变镜的特征在于，具有：反射镜；第一按压部件，其与所述反射镜的反射面外周部的相对的2个部位接触，从所述反射面侧按压所述反射镜；第二按压部件，其与所述反射镜的背面外周部的相对的2个部位接触，从所述背面侧按压所述反射镜；以及变形量调整部，其以所述第一按压部件按压所述反射面的位置、和所述第二按压部件按压所述背面的位置，绕穿过所述反射面的中心的轴而成为不同的位置的方式，对所述第二按压部件相对于所述第一按压部件的绕所述轴的位置进行定位，并且使所述轴向上的所述第一按压部件和所述第二按压部件的间隔变化，对由所述按压引起的所述反射镜的变形量进行调整。

发明的效果

根据本发明，其目的在于得到一种形状可变镜以及激光加工装置，由于不使用相对于反射镜进行粘接的部件，即可施加变形力，因此，不受针对反射镜的粘接的制约，能够对像散进行校正。

附图说明

图1是用于说明在本发明的实施方式1所涉及的形状可变镜中，反射镜的形状变化的概念的图。

图2是本发明的实施方式1所涉及的形状可变镜的剖面图。

图3是用于说明本发明的实施方式1所涉及的形状可变镜的构造的组装图。

图4是本发明的实施方式2所涉及的形状可变镜的剖面图。

图5是用于说明本发明的实施方式2所涉及的形状可变镜的构造的组装图。

图6是本发明的实施方式3所涉及的形状可变镜的剖面图。

图7是本发明的实施方式4所涉及的激光加工装置的结构图。

图8是表示在本发明的实施方式5所涉及的形状可变镜中，入射至反射镜的光束具有第一例的形状的图。

图9是表示在本发明的实施方式5所涉及的形状可变镜中，第一例的形状的光束入射至反射镜时的反射面处的入射光分布的图。

图10是表示在本发明的实施方式5所涉及的形状可变镜中，入射至反射镜的光束具有第二例的形状的图。

图11是表示在本发明的实施方式5所涉及的形状可变镜中，第二例的形状的光束入射至反射镜时的反射面处的入射光分布的图。

图12是表示在本发明的实施方式5所涉及的形状可变镜中，入射至反射镜的光束具有第三例的形状的图。

图13是表示在本发明的实施方式5所涉及的形状可变镜中，第三例的形状的光束入射至反射镜时的反射面处的入射光分布的图。

图14是表示在本发明的实施方式5所涉及的形状可变镜中，入射至反射镜的光束为正圆形的图。