[发明专利]光罩的制作方法

权利要求书

1.一种光罩的制作方法，包括：

将主图形和SRAF图形分离，单独进行各自线宽线性度参数的设置；

获得与所述主图形相关的参考线宽线性度曲线和与所述SRAF图形相关的参考线宽线性度曲线；

通过调节曝光线宽线性度分别获得主图形的线宽线性度参数和SRAF图形的线宽线性度参数，其中，一方面，获得所述主图形的线宽线性度参数的方法包括：通过调节曝光线宽线性度对与所述主图形相关的所述参考线宽线性度曲线进行调整，选取参考线宽线性度曲线中线宽包含主图形线宽且曲线平坦的部分，获取这部分平坦的曲线所对应的参数作为所述主图形的线宽线性度参数；另一方面，获得所述SRAF图形的线宽线性度参数的方法包括：通过调节曝光线宽线性度对与所述SRAF图形相关的所述参考线宽线性度曲线进行调整，选取参考线宽线性度曲线中线宽包含SRAF图形线宽且符合SRAF图形线宽线性度曲线应有的倾斜度的部分，获取这部分曲线所对应的参数作为所述SRAF图形的线宽线性度参数；

根据获得的主图形的线宽线性度参数和SRAF图形的线宽线性度参数进行光刻，获得光罩所需图形。

2.如权利要求1所述的光罩的制作方法，其特征在于，所述主图形的线宽大于等于主图形线宽线性度曲线中的拐点对应的线宽。

3.如权利要求2所述的光罩的制作方法，其特征在于，与所述主图形相关的参考线宽线性度曲线包括平坦部分和倾斜部分，所述平坦部分的线宽大于所述倾斜部分的线宽，所述拐点为平坦部分和倾斜部分的分界点。

4.如权利要求2所述的光罩的制作方法，其特征在于，所述SRAF图形包括多个大小不一的矩形。

5.如权利要求2所述的光罩的制作方法，其特征在于，所述曝光线宽线性度的调节由主图形和SRAF图形的线宽的不同而变化。

6.如权利要求1所述的光罩的制作方法，其特征在于，在进行光刻获得所需图形后，对获得的图形进行线宽量测。

7.如权利要求6所述的光罩的制作方法，其特征在于，对获得的图形进行线宽量测后，根据量测的线宽绘制线宽背离图。

8.如权利要求7所述的光罩的制作方法，其特征在于，所述线宽背离图中以实际线宽与目标线宽的差值表示线宽的背离。