[发明专利]靶材加工方法

权利要求书

1.一种靶材加工方法，其特征在于，包括：

提供靶材，所述靶材包括待喷砂区域以及不需要喷砂的保留区域；

至少在所述保留区域靠近待喷砂区域的部分，以及部分待喷砂区域粘贴保 护层；

去除位于待喷砂区域的保护层，以完全露出靶材的待喷砂区域；

对靶材的待喷砂区域进行喷砂处理；

在喷砂处理的步骤之后，去除靶材上剩余的保护层。

2.如权利要求1所述的靶材加工方法，其特征在于，粘贴保护层的步骤包括， 在靶材表面覆盖胶带。

3.如权利要求2所述的靶材加工方法，其特征在于，所述胶带为聚氯乙烯胶 带、聚酯薄膜胶带、铁氟龙胶带或者聚丙烯薄膜胶带。

4.如权利要求2所述的靶材加工方法，其特征在于，粘贴保护层的步骤包括： 粘贴厚度在0.12mm～0.15mm范围内的胶带。

5.如权利要求1所述的靶材加工方法，其特征在于，提供靶材的步骤包括： 提供非圆形靶材；去除位于待喷砂区域的保护层的步骤包括：采用铣削的 方式去除所述待喷砂区域的保护层。

6.如权利要求1所述的靶材加工方法，其特征在于，提供靶材的步骤包括： 提供圆形靶材；

去除位于待喷砂区域的保护层的步骤包括：采用车削的方式去除所述待喷 砂区域的保护层。

7.如权利要求6所述的靶材加工方法，其特征在于，去除位于待喷砂区域的 保护层的步骤包括：在车刀与粘贴有保护层的靶材表面之间设置不大于保 护层厚度的间隙。

8.如权利要求7所述的靶材加工方法，其特征在于，使所述间隙在0.02mm～ 0.04mm的范围内。

9.如权利要求6所述的靶材加工方法，其特征在于，采用车削的方式去除所 述待喷砂区域的保护层的步骤还包括：使车削机床的转速在250～550转/ 分钟的范围内，车削进给量在每转0.015～0.025mm的范围内。

10.如权利要求1所述的靶材加工方法，其特征在于，去除位于待喷砂区域的 保护层的步骤之后，进行喷砂处理的步骤之前，所述靶材加工方法还包括： 采用刀片对于靶材待喷砂区域表面进行去胶处理。

11.如权利要求1所述的靶材加工方法，其特征在于，粘贴保护层的步骤之后， 进行喷砂处理的步骤之前，所述靶材加工方法还包括：采用盖板对保留区 域未粘贴保护层的部分进行遮挡。