[发明专利]检测采样系统及检测采样方法在审
申请号: | 201410714910.6 | 申请日: | 2014-11-28 |
公开(公告)号: | CN104485298A | 公开(公告)日: | 2015-04-01 |
发明(设计)人: | 江旻;曾林华;任昱;吕煜坤;朱骏;张旭升 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/66 |
代理公司: | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人: | 吴俊 |
地址: | 201203 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 检测 采样系统 采样 方法 | ||
1.一种检测采样系统,用以对产品规格进行采样检测,所述产品流经预设工艺条件的预设腔体,其特征在于,包括:
复数个计数器,所述计数器用以对经过预设工艺条件的所述预设腔体的所述产品进行累加计数,每个所述计数器分别对应一上限值和一警告值;
存储单元,连接所述计数器,用以存储复数个所述计数器对应的所述警告值;
第一比较单元,分别与复数个所述计数器和所述存储单元连接,用以分别将每个所述计数器当前的计数值与所述计数器对应的所述警告值进行比较,获取第一比较结果;
采样单元,用以根据预设采样策略对流经所述预设腔体的所述产品进行采样;
处理单元,分别与所述第一比较单元、所述计数器、所述采样单元和复数个所述计数器连接,用以根据所述第一比较结果控制所述采样单元。
2.如权利要求1所述检测采样系统,其特征在于,所述存储单元还用以存储复数个所述计数器对应的上限值。
3.如权利要求2所述检测采样系统,其特征在于,还包括:
第二比较单元,分别与复数个所述计数器、所述处理单元和所述存储单元连接,用以分别将每个所述计数器当前的计数值与所述计数器对应的所述上限值进行比较,获取第二比较结果。
4.如权利要求3所述检测采样系统,其特征在于,所述处理单元根据第二比较结果控制所述采样单元。
5.如权利要求1所述检测采样系统,其特征在于,还包括:
检测单元,连接所述采样单元和所述处理单元,用以对采样的所述产品的规格进行检测;
当检测完成后所述处理单元将所述产品对应的所述预设工艺条件的所述预设腔体对应的所述计数器清零。
6.一种检测采样方法,应用于如权利要求1-5所述检测采样系统,其特征在于,包括下述步骤:
采用复数个计数器分别对流经预设工艺条件的所述预设腔体的所述产品进行累加计数;
分别将每个所述计数器当前的计数值与所述计数器对应的所述警告值进行比较;
当所述计数器当前的计数值等于所述计数器对应的所述警告值时,对流经所述计数器对应的所述预设腔体的产品进行采样;
当所述计数器当前的计数值小于所述计数器对应的所述警告值时,所述计数器正常工作。
7.如权利要求6所述的检测采样方法,其特征在于,还包括:
分别将每个所述计数器当前的计数值与所述计数器对应的所述上限值进行比较;
当所述计数器当前的计数值大于所述计数器对应的所述上限值时,所述计数器对应的预设工艺条件的所述预设腔体停止作业,对流经所述计数器对应的所述预设腔体的产品进行采样;
当所述计数器当前的计数值大于所述计数器对应的所述警告值且小于或等于所述计数器对应的上限值时,输出告警信号,优先对流经所述计数器对应的所述预设腔体的产品进行采样。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造