[发明专利]电子器件以及电子设备在审

专利信息
申请号: 201410722694.X 申请日: 2014-12-02
公开(公告)号: CN104678474A 公开(公告)日: 2015-06-03
发明(设计)人: 今井英生;松野靖史 申请(专利权)人: 精工爱普生株式会社
主分类号: G02B5/28 分类号: G02B5/28
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人: 余刚;吴孟秋
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 电子器件 以及 电子设备
【说明书】:

技术领域

本发明涉及电子器件以及电子设备。

背景技术

现有技术中,已知有反射膜间隔着规定的间隙而分别相对配置在一对基板彼此相对的面上的波长可变干涉滤波器。另外,已知有在壳体内容纳有这样的波长可变干涉滤波器的光学滤波器器件(例如参照专利文献1)。

该专利文献1所记载的光学滤波器器件具备具有板状台座(基底基板)以及圆筒状的盖的封装体(壳体)。该壳体中,基底基板的周缘部分和盖的圆筒一端部焊接或者粘接而连接,容纳波长可变干涉滤波器的空间设置于基底基板和盖之间。另外,盖的与台座部相对的上表面设置有孔,在该孔设置有使光通过的窗部。

然而,如上述专利文献1所述,在壳体不仅设置光通过孔,有时还在基底基板形成透光用的孔。但是,由于用于形成光通过孔等的加工,存在基底基板的平行性恶化的情况。例如,在光通过孔的外周缘附近产生翘曲或突起等。存在下列问题:平行性恶化的基底基板和波长可变干涉滤波器接合时,由于翘曲部分或突起部分局部地与波长可变干涉滤波器的接合面接触,因此波长可变干涉滤波器不水平固定,其结果为分辨率恶化。

在先技术文献

专利文献

专利文献1:日本专利特开2008-70163号公报

发明内容

本发明的目的在于提供具有优良特性的电子器件以及电子设备。

该目的通过下述本发明达成。

本发明的电子器件的特征在于,具有功能元件以及容纳所述功能元件的封装体,所述封装体具有固定所述功能元件并具备通过光的光通过孔的基底基板以及堵塞所述光通过孔的具有透光性的透光性基板,所述基底基板由多层层叠的层叠体构成,所述光通过孔形成为与位于所述功能元件侧的第一开口的面积相比,位于与所述功能元件相反一侧的第二开口的面积更大。

这样,通过使第二开口的面积比第一开口的面积大,抑制基底基板的第一开口的外周缘附近向功能元件侧翘曲,因此能够高精度地在基底基板上承载(搭载)功能元件。因此能够得到具有优良特性的电子器件。

在本发明的电子器件中优选,所述光通过孔具有第一光通过孔、位于比所述第一光通过孔更靠所述第二开口侧且比所述第一光通过孔大的第二光通过孔、以及形成于所述第一光通过孔和所述第二光通过孔的连接部的台阶部。

由此,光通过孔成为在由层叠体形成的基底基板上容易形成的形状。

在本发明的电子器件中优选,所述透光性基板位于比所述台阶部更靠所述第二开口侧。

由此,能够防止透光性基板和功能元件接触。

在本发明的电子器件中优选,所述透光性基板在所述基底基板的俯视观察中位于所述第二光通过孔内,外缘部位于所述第一光通过孔的外侧。

由此,由于台阶部作为透光性基板的停止器起作用,因此能够简单地进行透光性基板相对于基底基板的定位(基底基板的厚度方向的定位)。

在本发明的电子器件中优选,所述透光性基板至少一部分位于所述第二光通过孔内。

由此,能够简单地进行透光性基板相对于基底基板的定位(基底基板的面内方向的定位)。

在本发明的电子器件中优选,所述透光性基板在所述基底基板的截面图中位于所述基底基板的两主面之间。

由此,由于防止透光性基板从基底基板突出,因此能够实现封装体的薄型化。

在本发明的电子器件中优选,所述透光性基板经由设置于所述台阶部的接合部件而固定于所述基底基板。

由此,能够简单地进行透光性基板在基底基板的固定。

在本发明的电子器件中优选,所述接合部件在所述基底基板的俯视观察中位于所述第一光通过孔的外侧。

由此,接合部件不妨碍经由第一光通过孔导入功能元件的光。

在本发明的电子器件中优选,所述台阶部的前端部向所述第二开口侧弯曲,所述接合部件的厚度向所述台阶部的前端部递减。

由此,能够有效地抑制接合部件向第一光通过孔内露出。

在本发明的电子器件中优选,所述基底基板具有密封所述封装体容纳所述功能元件的内部空间的密封孔。

由此,能够将内部空间维持为期望的环境。

在本发明的电子器件中优选,所述功能元件是光干涉滤波器,所述光干涉滤波器具备第一基板、与所述第一基板相对的第二基板、设置于所述第一基板的第一反射膜、以及设置于所述第二基板且间隔着反射膜间间隙与所述第一反射膜相对的第二反射膜,并具有所述第一反射膜与所述第二反射膜重叠的光干涉区域,所述光通过孔与所述光干涉区域对应设置。

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