[发明专利]一种掩模上版装置及校准方法

权利要求书

1.一种掩模上版装置，其特征在于，包括：传输机构，用于传输掩模版，所述传输机构包括第一、第二机械手以及气缸，所述第一机械手的一端和所述第二机械手的一端分别与所述气缸固定，所述第一机械手用于将所述掩模版从版库内取出传输至机械预对准装置以实现所述掩模版预对准，所述第二机械手用于将完成预对准的掩模版自所述机械预对准装置传输至掩模台，

所述掩模台包括四象限传感器，

所述掩模上版装置能够实现自校准，所述机械预对准装置的偏移量通过所述第二机械手重复上载掩模版，配合预先校准的所述四象限传感器获得，根据所述偏移量对所述机械预对准装置校准，并建立不同掩模版的外形偏差数据库。

2.如权利要求1所述的掩模上版装置，其特征在于，所述装置还包括保护装置，用于保证所述第一、第二机械手不相互碰撞。

3.如权利要求2所述的掩模上版装置，其特征在于，所述保护装置包括电气保护装置，用于实现所述第一、 第二机械手位于不同工位。

4.如权利要求2所述的掩模上版装置，其特征在于，所述保护装置包括机械保护装置，所述机械保护装置为位于所述气缸上的一开口，所述开口位置与所述第一机械手的版库前工位相对应。

5.如权利要求1所述的掩模上版装置，其特征在于，所述第一机械手通过基座与所述气缸固定，所述第一机械手包括机械夹持版叉。

6.如权利要求5所述的掩模上版装置，其特征在于，所述第一机械手的第一、第二驱动电机安装于所述基座上，用于提供沿Y轴、Z轴运动。

7.如权利要求1所述的掩模上版装置，其特征在于，所述第二机械手通过基座与所述气缸固定，所述第二机械手包括真空吸附版叉。

8.如权利要求7所述的掩模上版装置，其特征在于，所述第二机械手的第三驱动电机安装于所述基座上，用于提供沿Z轴运动。

9.如权利要求7所述的掩模上版装置，其特征在于，所述第二机械手的真空吸附版叉包括真空吸附区和多个夹持手。

10.如权利要求1所述的掩模上版装置，其特征在于，所述气缸在沿X轴方向运动有四个工位。

11.一种对掩模上版装置的校准方法，其特征在于，所述掩模上版装置包括第二机械手，所述第二机械手用于将完成预对准的掩模版自机械预对准装置传输至掩模台，所述掩模台设有四象限传感器，所述校准方法包括：

步骤一、对掩模台的所述四象限传感器校准；

步骤二、利用第二机械手重复上载掩模版、配合所述四象限传感器获得所述机械预对准装置的偏移量，根据所述偏移量校准所述机械预对准装置；

步骤三、建立不同所述掩模版的外形偏差数据库。