[发明专利]一种集成超声结构的电容式湿度传感器及其制备方法

权利要求书

1.一种集成超声结构的电容式湿度传感器，其特征在于：包括超声换能器结构和若干湿度敏感电容结构，湿度敏感电容结构设置在超声换能器结构上方；所述超声换能器结构包括由下至上依次设置的衬底(1)、压电材料层(2)和中间金属层(3)，湿度敏感电容结构包括由下至上依次设置的绝缘层(4)、叉指电极(5)、钝化层(6)和湿敏材料层(7)，绝缘层(4)设置在中间金属层(3)上；所述衬底(1)的下表面通过腐蚀形成空腔，用于调节衬底厚度，进而调节超声换能器结构的谐振频率。

2.一种集成超声结构的电容式湿度传感器的制备方法，其特征在于：包括如下步骤：

(1)准备重参杂硅衬底(1)，通过背面腐蚀在衬底(1)的下表面形成空腔；

(2)在衬底(1)上淀积一层压电材料，并利用光刻和刻蚀工艺使其图形化，形成压电材料层(2)；

(3)在压电材料层(2)上溅射或蒸发一层金属铝，并利用光刻和刻蚀工艺使其图形化，形成中间金属层(3)；

(4)在中间金属层(3)上淀积一层氧化硅并利用光刻和刻蚀工艺使其图形化，形成绝缘层(4)；

(5)在绝缘层(4)上溅射或蒸发一层金属铝，并利用光刻和刻蚀工艺使其图形化，形成叉指电极(5)；

(6)在叉指电极(5)上淀积一层氮化硅并利用光刻和刻蚀工艺使其图形化，形成钝化层(6)；

(7)在钝化层(6)上淀积一层聚酰亚胺，并利用光刻和刻蚀工艺使其图形化，形成湿敏材料层(7)。