[发明专利]一种可进行热化学气相沉积的原位测试平台

权利要求书

1.一种可进行热化学气相沉积的原位测试平台，其特征在于，该原位测试平台包括：

高温热台反应腔体，其包括热台底座以及固定安装在所述热台底座上的真空外罩，其中，所述真空外罩包括框架主体以及紧密安装在该框架主体上以供X射线透过的入射窗片和出射窗片；

陶瓷加热台，其安装在所述热台底座上以承载一样品，并且其内部设有电热丝和热电偶；

温度控制系统，其连接至所述电热丝和所述热电偶，以实时调节所述陶瓷加热台的温度；

真空系统，其与所述高温热台反应腔体连通，以对所述高温热台反应腔体内抽真空；

反应气体混气系统，其与所述高温热台反应腔体连通，以为所述高温热台反应腔体内提供热化学气相沉积所需的气源；以及

真空测量系统，其与所述高温热台反应腔体连通，以实时监测所述高温热台反应腔体内的气体压强。

2.根据权利要求1所述的可进行热化学气相沉积的原位测试平台，其特征在于，所述原位测试平台还包括一用于对所述热台底座进行冷却的循环水冷系统。

3.根据权利要求2所述的可进行热化学气相沉积的原位测试平台，其特征在于，所述循环水冷系统包括固定安装在所述热台底座的下表面并与一循环水泵连通的循环水管道。

4.根据权利要求1所述的可进行热化学气相沉积的原位测试平台，其特征在于，所述真空系统包括通过第一气体管道与所述高温热台反应腔体连通的机械泵。

5.根据权利要求1所述的可进行热化学气相沉积的原位测试平台，其特征在于，所述反应气体混气系统包括相连接的混气装置和气体容器，并且所述混气装置通过第二气体管道与所述高温热台反应腔体连通。

6.根据权利要求1所述的可进行热化学气相沉积的原位测试平台，其特征在于，所述热台底座的上表面设有分别与所述电热丝和所述热电偶连接的接线柱；所述热台底座的下表面设有向上延伸至与所接线柱一一对应连接的导电盲孔，以供所述温度控制系统连接。

7.根据权利要求1所述的可进行热化学气相沉积的原位测试平台，其特征在于，所述框架主体的下端面开设有连续凹槽，所述凹槽内设有真空垫圈，以使所述框架主体的下端面与所述热台底座的上表面密封连接。

8.根据权利要求1所述的可进行热化学气相沉积的原位测试平台，其特征在于，所述入射窗片和出射窗片采用铍或聚酰亚胺膜制成。