[发明专利]内袋复合容器用分配装置及其制造方法

说明书

一种内袋复合容器用分配装置，安装与以往相比可减少残留液体量及其偏差的内袋复合容器上，对该内袋复合容器内的收纳流体进行分配。内袋复合容器(100)是在钢制的容器内收纳有树脂制内侧容器(110)而成的容器。内侧容器的出入口部(111)位于内袋复合容器的中心轴(101)上，在中心轴上的出入口部的正下方内侧容器具有收集贮存残留液体的残留液体用凹部(113)。分配装置具有排出管(250)和气体供给机构，在容器内加压时，排出管具有从内侧容器的出入口部直线状地延伸至残留液体用凹部的长度。采用本发明，可减少残留液体量及其偏差。

技术领域

本发明涉及一种内袋复合容器用分配装置及其制造方法，内袋复合容器用分配装置对钢制的外侧容器内设有树脂制的内侧容器的内袋复合容器所收纳的收纳流体进行分配。

背景技术

在例如用于收纳食品及药品的钢制容器中，采用了将收纳所述食品及药品的树脂制的内侧容器收纳在钢制的外侧容器内的、如图10所示那样的内袋复合容器10的形态，以防止所述食品及药品与钢制容器内表面直接接触所引起的腐蚀等的产生。

在该内袋复合容器10中，主体部1a为聚乙烯制并形成为袋状，且在其上部与容器主体部一体地形成有用于出入充填物的出入口1b。另外，出入口1b的外周面成形为外螺纹形状。

另一方面，内袋复合容器10的外侧容器2，其由圆筒状的钢板构成的壳体2a和由钢板构成的底板2b被卷边接缝而形成收纳部。

并且，在所述所述收纳部内装填所述内侧容器1后，在使所述出入口1b从形成于钢板制的顶板2c的开口突出的状态下，将壳体2a和顶板2c卷边接缝，制成将树脂制的内侧容器1收纳在钢制的外侧容器2内的内袋复合容器10。在对这样的内袋复合容器10注入充填物之后，在从顶板2c突出的出入口1b上旋合盖子3，以将充填物封闭。

作为上述药品的例子，在例如半导体领域中，例如是CMP浆料、光致抗蚀剂、显影液、蚀刻液和清洗液等，在液晶领域中，是光致抗蚀剂、彩色抗蚀剂和滤色器材料等。另外，在这些药液中有时也需要遮光，由于钢制而成的外侧容器2具有遮光性，因此，在这方面使用内袋复合容器10是有利的。

在对半导体领域等的药液进行处理的场合，内侧容器1当然要求较高的清洁度，而内袋复合容器10也要求较高的清洁度。此外，即使排出药液时也要求较高的清洁性，作为排出方法，采用这样的方法：取下上述盖子3并安装使用具有排出用管子的分配器而进行排出的方法。对于这种方法，具有用泵将药液吸上来的泵送方式，或者通过将氮气等注入罐内进行加压而将药液挤出的加压方式。

专利文献1：日本专利特开2007-45429号公报

作为上述那样的，在半导体领域等所使用的药液用的内袋复合容器，广泛使用其内容量为20升的，利用了所谓提桶罐的构件。另外如上所述，从高清洁度要求出发，半导体领域等中所使用的药液虽然使用分配器并用加压方式被排出，但当提桶罐内的残留液体量变少时，药液就会与加压气体一起被排出，产生所谓气泡夹带(日语：泡噛み)现象。这样的含有气泡的药液会导致最终成品的缺陷，因此，在产生气泡夹带之前中止药液的排出。当然，从上述的高清洁度要求出发，决不允许例如取下分配器将内袋复合容器的出入口朝下进行残留液体的排出等。

另一方面，在半导体领域等中所使用的药液，是例如也被说成1万日圆/升那种程度的非常高价的药液，从成本方面考虑，必须尽量减少内袋复合容器内的残留液体量。

发明内容

发明所要解决的课题

本发明是为解决上述那种问题而做成的，其目的在于，提供一种内袋复合容器用分配装置及该分配装置的制造方法，该分配装置安装于将树脂制的内侧容器收纳在外侧容器内的内袋复合容器中，相比于以往可减少残留液体量，且也可减少该残留液体量的偏差，该分配装置对该内袋复合容器的收纳流体进行分配。

用于解决课题的手段