[发明专利]用于控制工件货批制程的方法、储存媒体和系统

权利要求书

1.一种用于制造半导体装置的方法，包括：

以各别的至少一个第一设备处理多个货批的各者，其中，该多个货批的各者包含多个半导体晶圆，其中，该至少一个第一设备的各者对由各别的该第一设备处理的该多个货批的各者中的各晶圆实行半导体制程的一个或多个第一步骤；

将至少一部分 的该多个货批从该各别的该至少一个第一设备移动到第一储存设备；

对多个第二设备的各者，判定将由该第二设备处理的一个或多个接续货批的预期派送时间，其中，该多个第二设备的各者对由各别的该第二设备处理的该多个货批的各者中的各晶圆实行半导体制程的一个或多个第二步骤；

至少以判定的该预期派送时间为基础，指派在该第一储存设备中的该些货批的各者到该多个第二设备的一者，其中，该指派在该第一储存设备中的该些货批的各者到该多个第二设备的一者的步骤额外地在下列的基础上实行，该基础包含该些货批的各者的优先次序、目前在该多个第二储存设备的各者中的货批数量以及该第二储存设备的各者的状态；

将在该第一储存设备中的该些货批的各者移动到多个第二储存设备的一者，该第二储存设备的该一者是关联于各别的该货批所指派的该多个第二设备的一者；以及

对该多个第二设备的各者，将该第二储存设备中关联于该第二设备的该一者的该些货批的各者移动到该第二设备，并以该第二设备处理来自关联于该第二设备的该第二储存设备的该些货批，其中，该多个第二储存设备的各者比该第一储存设备更靠近该多个第二设备中关联于该第二储存设备的该一者，且该第一储存设备的储存空间大于任何该多个第二储存设备的储存空间。

2.如权利要求1所述的方法，其中，该至少一个第一设备以及该多个第二设备中的至少一者包含多个机台。

3.如权利要求2所述的方法，其中，该多个机台包含第一机台和第二机台，其连续地实行该半导体制程的不同步骤。

4.如权利要求2所述的方法，其中，将该些货批的各者从各别的该至少一个第一设备的一者移动到该第一储存设备以及将在该第一储存设备中的该些货批的各者移动到该多个第二储存设备的一者是藉由自动化物料传输系统实行，该第二储存设备的该一者是关联于各别的该货批所指派的该多个第二设备的该一者。

5.如权利要求4所述的方法，其中，该第一储存设备比任何该多个第二储存设备更靠近该至少一个第一设备的各者。

6.如权利要求1所述的方法，其中，该多个第二储存设备的各者的储存空间是下列的至少一者：小于一半的该第一储存设备的该储存空间、小于五分之一的该第一储存设备的该储存空间、以及介于十分之一到五分之一的该第一储存设备的该储存空间的范围内。

7.如权利要求1所述的方法，其中，该多个第二储存设备的各者的储存空间足够储存一定数量的货批，该数量是等于及大于在一个预定延迟缓冲时间内能够被关联于该第二储存设备的该第二设备处理的最大货批数量中的至少一者。

8.如权利要求1所述的方法，其中，在该第一储存设备中的该些货批的各者是在各别的该货批被插入该第一储存设备的时间点之后被指派到该多个第二设备的一者。

9.如权利要求8所述的方法，还包括判定一决定时间，在该决定时间，在该第一储存设备中的该些货批中的至少一者，至少以该判定预期派送时间为基础，将被指派到该多个第二设备的一者，其中，在该第一储存设备中的该些货批的各者到该多个第二设备的一者的该指派是在该判定的决定时间实行。

10.如权利要求9所述的方法，其中，该预期派送时间是在下列的基础上判定，该基础包含该第二设备的可用性的预期时间、该第一储存设备和该多个第二储存设备的各者之间的预估传送时间、以及该多个第二储存设备和与其相关联的该多个第二设备的各别的各者之间的预估传送时间。