[发明专利]磁性非对称型柱或核球的植球治具及植球方法有效

专利信息
申请号: 201410757801.2 申请日: 2014-12-10
公开(公告)号: CN104485300B 公开(公告)日: 2017-11-24
发明(设计)人: 陈南南;王宏杰 申请(专利权)人: 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/48
代理公司: 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙)32104 代理人: 殷红梅,刘海
地址: 214135 江苏省无锡市新区*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 磁性 对称 植球治具 方法
【权利要求书】:

1.一种磁性非对称型柱或核球的植球方法,其特征是,磁性非对称型柱或核球的植球治具,包括托盘(1)和吸头(2),托盘(1)的上部和吸头(2)下部分别设置腔体,托盘(1)的下部和吸头(2)的上部分别设置抽真空口(5),在托盘(1)内固定下模(3),在吸头(2)内固定上模(4);在所述下模(3)和托盘(1)的下部之间形成第一真空腔(6),在上模(4)和吸头(2)的上部之间形成第二真空腔(7),第一真空腔(6)和第二真空腔(7)分别与抽真空口(5)连通,抽真空口(5)分别连接真空装置;在所述下模(3)上表面设置第一BGA点阵孔(8),在上模(4)下表面设置第二BGA点阵孔(9),第一BGA点阵孔(8)与第一真空腔(6)连通,第二BGA点阵孔(9)与第二真空腔(7)连通,第一BGA点阵孔(8)与第二BGA点阵孔(9)呈上下映射;所述托盘(1)与振动装置连接,托盘(1)和吸头(2)一侧分别设置电磁装置;

在所述下模(3)的上表面加工定位点或定位标识,在上模(4)的下表面设置与定位点或定位标识相配合的定位识别装置;

磁性非对称型柱或核球的植球方法,包括以下步骤:

步骤一、将铜核锡球倒入托盘(1)中,在振动装置的振动和电磁装置的作用下,使铜核锡球分布于第一BGA点阵孔(8)中;

步骤二、启动托盘(1)一侧的真空装置,对第一真空腔(6)进行抽真空,使得铜核锡球固定在第一BGA点阵孔(8)中,再将多余的铜核锡球倒出托盘(1);

步骤三、吸头(2)移动至托盘(1)的上方,通过上模(4)上的第二BGA点阵孔(8)与铜核锡球一一对应和定位;启动吸头(2)一侧的真空装置和电磁装置,将铜核锡球吸附到上模(4)上,再由吸头(2)携带铜核锡球转移下一工序。

2.如权利要求1所述的一种磁性非对称型柱或核球的植球方法,其特征是:所述第一BGA点阵孔(8)与待植球的铜核锡球/柱的一端形状、大小相匹配,第二BGA点阵孔(9)与待植球的铜核锡球/柱的另一端形状、大小相匹配。

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